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1200℃立式/垂直10溫區(qū)管式爐(配100mm石英管)
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1200℃六溫區(qū)開啟式管式爐(25mm-100mm石英管×2米加熱區(qū))
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1200℃五溫區(qū)管式爐
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1200℃三溫區(qū)管式爐 (溫區(qū)450mm,可選管徑60,80,100mm石英管,法蘭)
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1200℃三溫區(qū)管式爐(溫區(qū)610mm,可選石英管和法蘭60-130mm)
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1200℃三溫區(qū)開啟式管式爐 (可選130mm爐管和法蘭)
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1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐(帶60,80或100mm石英管和法蘭)
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1200℃雙坩堝移動型管式爐
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1100度雙溫區(qū)直空/氣氛快速升降溫RTP爐(紅外燈管加熱 升溫速度:50度/S)
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900℃帶多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)RTP管式爐
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP爐(載物臺:4英寸 升溫速度:50度/S)