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1100℃大口徑雙溫區(qū)管式爐
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1200℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐(可選1或2英寸石英管和法蘭)
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1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐(帶60,80或100mm石英管和法蘭)
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1200℃雙溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 (配80mm石英管和防腐真空計(jì))
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1200℃1英寸雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)
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1200℃雙溫區(qū)4坩堝分體式HPCVD爐(帶進(jìn)樣系統(tǒng))
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1200℃雙坩堝移動(dòng)型管式爐
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1100度雙溫區(qū)直空/氣氛快速升降溫RTP爐(紅外燈管加熱 升溫速度:50度/S)
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1200℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐(100mm)