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超聲霧化熱分解爐
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1100℃石英管式爐(50mm爐管,帶溫度校準(zhǔn)器和真空泵)
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定向CVD生長(zhǎng)爐
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1100℃多工位管式爐(50mm爐管)
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微型2通道混氣CVD真空管式爐 (配50mm石英管和防腐真空計(jì))
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1200℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 (配80mm石英管和防腐真空計(jì))
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800℃超高真空管式爐
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開啟式單溫區(qū)管式爐,帶5英寸直徑石英管和真空法蘭,36英寸加熱區(qū)
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900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐
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1200℃小型開啟式管式爐,帶可插入式溫度校準(zhǔn)器和真空系統(tǒng)
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1200℃微型開啟式管式爐 (200mm加熱區(qū),帶密封法蘭和 可選尺寸石英管)
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP爐(載物臺(tái):4英寸 升溫速度:50度/S)