| 爐體結構 | · 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng) · 一個滑軌安裝在爐體下端，可通過一6“的觸摸屏來控制爐體移動方向、滑動速度和往返次數(shù) · 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率和延長使用壽命。 |
| 功率 | 1.5KW |
| 電壓 | AC220V，單相 |
| 最高共工作溫度 | 1200℃（≤1小時） |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
| 加熱區(qū)域 | · 加熱區(qū)：200mm(單溫區(qū)） · 通過管堵位置和爐體移動可形成想得到的溫度梯度
|
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有高溫氧化鋯涂層，可延長其使用壽命） |
| 爐管 | · 高純石英管 · 尺寸：50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L · 儀器加熱前，必須放入管堵，以防止熱量輻射影響法蘭的密封性 |
| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設置50段升溫、降溫和保溫程序 · 設置有溫度過高和斷偶保護系統(tǒng) · 控溫精度：±1℃ · 可選測PC控制軟件，將升溫程序和溫度曲線導入到電腦中 · 控溫儀表操作視頻
|
| 爐體滑動控制系統(tǒng) | · 觸摸屏控制 · 爐體移動有手動和自動控制兩種控制狀態(tài)，在手動狀態(tài)和自動狀態(tài)下均可設定左右移動的速度，但只有在自動狀態(tài)下才能設定左右移動的次數(shù)。 · 含蜂鳴報警器，當爐體觸碰到限位開關就會產(chǎn)生報警，并切斷控制電路，使爐體停止移動。 · 可顯示高溫爐內(nèi)的爐溫，與之通訊 |
| 密封法蘭 | · 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭（上面已安裝不銹鋼針閥和機械壓力表） · 法蘭上有一Φ6.35的鎧裝孔，可將熱電偶插入到爐管中，更準確地測量樣品的實際溫度 |
| 石英氣體噴嘴 | 可選配石英氣體噴嘴，將反應氣體與緩沖清洗氣體分開通入，可有效減少副反應發(fā)生，實現(xiàn)高端CVD工藝，如局部控制前體濃度化學氣相沉積工藝（ALC CVD）或單晶二維材料薄膜的生長工藝等。 |
| 真空度 | · 10E-5 torr （用分子泵） |
| 滑軌長度 | 1200mm |
| 操作視頻 | 操作視頻 |
| 產(chǎn)品尺寸 | · 315 x 300 x 380 mm (爐體) · 1200 x 400 x 530 mm ( 整個外形) · 360 x 180 x 300 mm（電器控制柜） |
| 重量 | 100KG |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件損耗件） |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術有限公司 版權所有 皖ICP備09007391號-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
查看誠信檔案
