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1200℃晶體生長爐（適用于頂部籽晶法，爐腔尺寸：Φ240*200mm）
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超聲霧化熱分解爐
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1100℃石英管式爐（50mm爐管，帶溫度校準(zhǔn)器和真空泵）
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定向CVD生長爐
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1100℃多工位管式爐（50mm爐管）
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微型2通道混氣CVD真空管式爐 （配50mm石英管和防腐真空計(jì)）
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1200℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 （配80mm石英管和防腐真空計(jì)）
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800℃超高真空管式爐
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開啟式單溫區(qū)管式爐，帶5英寸直徑石英管和真空法蘭，36英寸加熱區(qū)
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1050℃防腐型箱式爐（7.2L，高鋁腔室：200*300*120mm）
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900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐
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1200℃小型開啟式管式爐，帶可插入式溫度校準(zhǔn)器和真空系統(tǒng)
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1200℃微型開啟式管式爐 (200mm加熱區(qū),帶密封法蘭和 可選尺寸石英管)
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP爐（載物臺(tái)：4英寸 升溫速度：50度/S）
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號(hào)
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