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PECVD系統(tǒng)
型號(hào)：
OTF-1200X-50-4CLV-PE
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-50-4CLV-PE是一款PECVD的管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻電源、管式爐、真空系統(tǒng)和4路供氣系統(tǒng)。管式爐電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫，K型熱電偶，爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，此款設(shè)備可用于生長(zhǎng)納米線或用CVD方法來(lái)制備各種薄膜。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
特點(diǎn)

· 與傳統(tǒng)CVD相比，處理溫度更低

· 管式爐爐膛膛材料采用高純氧化鋁纖維，能最大程度減少能量損失

· 是一款質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)
基本參數(shù)

· 工作溫度：1200℃（＜0.5小時(shí)） 

· 連續(xù)工作溫度：1100℃

· 建議加熱速率：≦10℃/min

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度：400mm 

· 加熱元件：電阻絲

· 電壓：AC 220V 50Hz 

· 功率：3KW

· 熱電偶：K型
爐管


· 材質(zhì)：高純石英管

· 尺寸：φ50*1400mm

· 可選：φ60*1400mm

         Φ80*1400mm

         Φ100*1400mm


圖片1.png
法蘭

· 標(biāo)配一套不銹鋼真空法蘭

· 進(jìn)氣端法蘭上安裝了一個(gè)機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷

· 出氣端法蘭包含一個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個(gè)KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統(tǒng)。一個(gè)KF16的接口用于連接電阻真空計(jì)。


圖片2.png 圖片3.png
真空系統(tǒng)

· 電源：AC220V/50Hz

· 功率：0.55KW

· 極限真空度：5.0*10-1Pa（無(wú)負(fù)載）

· 抽氣速率：3L/s

· 抽氣口：KF25接口

· 可選配真空度更高的系統(tǒng)


圖片4.png
供氣系統(tǒng)

· 型號(hào)：GSL-4Z-LCD

· 質(zhì)量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM

· 量程可以選配

· 精度：±1.5%FS

· 最大壓力：0.3MPa

· 內(nèi)部連接1/4英寸不銹鋼和聚四氟管

· 內(nèi)置不銹鋼混氣罐

圖片5.png
射頻電源


· 功率輸出范圍：0-500W

· 功率穩(wěn)定度：≤±5W

· 射頻頻率：13.56MHZ

· 自動(dòng)匹配

· 噪音：≤50dB

· 冷卻方式：風(fēng)冷

圖片6.png 圖片7.png
外形尺寸

1800長(zhǎng)*700寬*1150mm高
重量

約120KG
質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

· 特別提示：

  1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

  2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)






  使用注意事項(xiàng)

· 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa；

· 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。


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附件

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