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中小式（12片，6英寸基片）PECVD系統(tǒng)
關(guān)鍵字：
平行板電容式（CCP）
型號：
PECVD-8-16
產(chǎn)品概述：
PECVD-8-16是一款平行板電容式PECVD系統(tǒng)，適用于中小式生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)，可放置12片6英寸基片。此系統(tǒng)組成：8英寸石英管管式爐，最高溫度為1100℃，一個批量型石墨舟（可放12片基片），1000W射頻電源，和一個4通道混氣系統(tǒng)。此設(shè)備特別適用于太陽能電池和二維材料，擴(kuò)產(chǎn)前測試實(shí)驗(yàn)。
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爐體結(jié)構(gòu)

· 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料

· 采用三可加熱區(qū)，可達(dá)到600mm長的恒溫區(qū)

· 外徑304mm.內(nèi)徑203mm的石英管，帶有不銹鋼密封法蘭

· 一個電動滑軌，上面裝載石墨舟和樣品

· 高純石墨舟，可轉(zhuǎn)載12片圓片或方形片，尺寸可達(dá)6英寸

· 1000W RF（13.5MHz）等離子電源

· 4通道混氣系統(tǒng)

· 可選購真空泵（油泵或無油泵）

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電源要求

· 208-240VAC，單相，50/60Hz

· 9KW
石英管&法蘭

· 外徑304mm×內(nèi)徑203mm×長度1300mm

· 設(shè)備包含一根石英管，可購買備用石英管

· 配有SS304不銹鋼法蘭，帶有KF40真空接口&閥門和進(jìn)氣口&出氣口

· 安裝有一套雙滑軌，直流電機(jī)驅(qū)動法蘭和樣品舟移動進(jìn)出石英管

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石墨舟

· 石墨舟采用高純石墨（產(chǎn)自日本）制作，帶有RF電極

· 12個插槽（4×3）可裝載樣品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直徑6英寸圓片

· 客戶可定制石墨舟（4×4或5×4）

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管式爐

· 加熱元件：NiCrAl合金絲

· 加熱區(qū)：3個加熱區(qū)（300mm＋300mm＋300mm）

· 恒溫區(qū)：600mm( +/- 2oC,3個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

· 工作溫度：400-1100℃

· 最大加熱冷卻速率：10℃/min

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溫控系統(tǒng)

· 3塊3000型歐陸（Eurotherm）儀表，可設(shè)置24段升降溫段

· 3根K型熱電偶

· 控溫精度： +/- 0.1°C

· 包含軟件和PC界面模塊

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射頻等離子電源

· 輸出功率：20-1000W（可調(diào)節(jié)，穩(wěn)定性± 1% ）

· RF頻率：13.56MHz

· 匹配方式：自動匹配

· 冷卻：空氣冷卻

· 噪音：<50dB

· 輸入電源：110-240VAC，50/60Hz

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供氣系統(tǒng)

· 4個質(zhì)量流量計安裝在一個移動架內(nèi)，控制精度：±1.5%FS，重復(fù)精度： ±0.2%FS

     ·  控制1： 0~100SCCM

     · 控制2： 1~199SCCM

     ·  控制3： 1~199SCCM

     · 控制4： 1~499SCCM

· 觸摸屏控制，設(shè)置各種參數(shù)

· 安裝有RS485接口，用于通過PC遠(yuǎn)程控制

· 每個工位的流量控制范圍可按客戶要求定制

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真空泵&真空計

· 一個防腐型數(shù)顯真空計，測試范圍可達(dá)到10-5torr

· 設(shè)備使用需要真空泵，可在本公司選購各種真空泵

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產(chǎn)品尺寸

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凈重

500kg
質(zhì)保

一年質(zhì)保期，針對于電器和機(jī)械部分，不包含加熱元件，石英管，密封圈

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