| 產(chǎn)品名稱型號(hào) | 1200℃小型PECVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1200X-50S-PE(科晶實(shí)驗(yàn)室、科晶技術(shù)部審核） |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ·整套設(shè)備尺寸小巧； ·可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量； ·可通過射頻電源的頻率來進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。 |
| 加熱爐參數(shù) | ·輸入電源：208-240V AC，功率：1.2KW； ·最高溫度：1200℃（＜30min）；連續(xù)工作溫度：1100℃； ·推薦升溫速率：≤10℃/min； ·加熱區(qū)：200mm； ·PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ·熱偶：K型熱偶； ·石英管口徑：φ50×1200mm； ·爐膛采用高純氧化鋁材料制成，爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命。 ·加熱爐尺寸：900mmL×330mmW×390mmH
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| 500W射頻電源 | ·輸出功率：0-500W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） ·射頻頻率：13.56MHz（穩(wěn)定性：±1%） ·匹配：自動(dòng)匹配 ·噪音：＜50dB ·冷卻方式：風(fēng)冷 ·輸入電壓：AC108-250V |
| 真空系統(tǒng) | · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.55KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負(fù)載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 可選配真空度更高的系統(tǒng)
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| 密封法蘭系統(tǒng) | · 標(biāo)配一套不銹鋼真空法蘭 · 進(jìn)氣端法蘭上安裝了一個(gè)機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷 · 出氣端法蘭包含一個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個(gè)KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統(tǒng)。一個(gè)KF16的接口用于連接電阻真空計(jì)。
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| 外形尺寸 | ·1500mmL*600mmW*1200mmH |
| 重量 | 75KG |
| 質(zhì)保期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)； 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)； |
使用注意事項(xiàng) | · 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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