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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)（帶滑軌、labview）
關(guān)鍵字：
帶滑軌，Labview軟件集成控制
型號(hào)：
OTF-1200X-50-4CLV-PE
產(chǎn)品概述：
為使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，常利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，這種方法稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。加熱爐設(shè)備的內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可延長設(shè)備的使用壽命。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)—OTF-1200X-50-4CLV-PE
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QQ截圖20200305131430.jpg

        操作視頻
外形尺寸

長*寬*高 2080mm*700mm*1520mm

11.jpg
爐管規(guī)格

外徑: 100mm 

內(nèi)徑: 96mm×長: 1800 mm
加熱爐主要參數(shù)

·最高溫度: 1200℃

·額定工作溫度: 1100℃

·推薦升溫速率:≤10℃/min

·加熱區(qū)長度: L總：440mm（雙溫區(qū)包括隔環(huán)）

              溫區(qū)一：200mm

              溫區(qū)二：200mm

·加熱爐額定功率：3KW

·滑動(dòng)方式：電動(dòng)控制

·滑動(dòng)最大行程：600mm

·電壓：單相AC 208 - 240V, 50HZ
溫控系統(tǒng)

 歐陸EPC3000儀表

·模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

·智能化24段可編程控制

·帶過電流過電壓保護(hù) 漏電保護(hù)

電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)

·控溫精度: ±0.1℃

·控溫：K型熱電偶兩根

·通訊協(xié)議：modbus RTU
軟件控制

· 可視化運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

· 溫控系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，射頻系統(tǒng)，滑動(dòng)爐體，開合爐體，壓力控制，全自動(dòng)化，

· 數(shù)據(jù)記錄、過程記錄集成一體

· 預(yù)制工作流程，一鍵自動(dòng)運(yùn)行

· 具有恒壓功能，可以設(shè)定氣體流量和恒定壓力

壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進(jìn)氣量為100-150sccm，管內(nèi)壓力為 100-130pa，如總進(jìn)氣量高于150sccm時(shí)，請更換抽速更高的泵，測試為總進(jìn)氣量為1L/min（滿足四路質(zhì)量流量計(jì)全開狀態(tài)時(shí)），使用VRD-60泵（抽速18L/s），最高真空為120-130pa（滿足起輝條件）,可在任意供氣量下設(shè)定任意氣壓值（該氣壓值需大于搭配泵體的最大真空值），氣壓值可自動(dòng)穩(wěn)定
新式快捷法蘭

可方便快速取放物料
射頻電源

·500W射頻電源

·0--500W可調(diào)（穩(wěn)定性±1%）

·射頻頻率：13.56MHZ

·自動(dòng)匹配 風(fēng)冷

·噪音＜50dB

·輸入電壓：AC108-250V
供氣系統(tǒng)

·四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）

·流量范圍：一路0-100 sccm 

            二路0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 


注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
真空系統(tǒng)

·搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進(jìn)氣量小于150sccm，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度）

·搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進(jìn)氣量1L/min，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度）

·KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵

·真空度可達(dá)10-2Torr
備注

注：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設(shè)備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況）

適用于大流量進(jìn)料的PECVD研究.jpg

特別聲明：

1. 以上所有實(shí)驗(yàn)僅為初步探究，僅供參考。由于我們水平有限，錯(cuò)誤疏漏之處歡迎指出，我們非常期待您的建議。

2. 歡迎您提出其他實(shí)驗(yàn)思路，我們來驗(yàn)證。

3. 以上實(shí)驗(yàn)案例及數(shù)據(jù)只針對(duì)科晶設(shè)備，不具有普遍性。

4. 因?yàn)樯婕氨Ｃ軉栴}，以上數(shù)據(jù)僅為部分?jǐn)?shù)據(jù)，歡迎老師與我們聯(lián)系，我們非常期待和您共同探討設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)。



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