| 產(chǎn)品名稱 | 1200℃坩堝可移動(dòng)型HPCVD爐-OTF-1200X-S-HPCVD |
| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | · 爐子配備步進(jìn)電機(jī)，通過觸摸屏數(shù)字控制器使樣品臺(tái)或坩堝在爐管內(nèi)移動(dòng)。 · 最高溫度可達(dá)1200℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 · 可選擇改造為雙溫區(qū)管式爐，但需額外付費(fèi)，以產(chǎn)生更高的熱梯度或更長(zhǎng)的恒溫區(qū)。 |
| 基本參數(shù) | · 最高溫度: 1200℃（≤30min） 工作溫度: 1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：220V · 最大功率為：2KW |
| 真空密封 | · 高純石英管50mm外徑x44mm內(nèi)徑x 450mm長(zhǎng) · 采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭，硅膠密封圈密封 · 法蘭上安裝有一個(gè)機(jī)械壓力表 · 右端法蘭與一個(gè)真空不銹鋼波紋管連接 |
| 坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)和PLC控制 | · 一個(gè)直徑為1/4＂的鎧裝熱電偶（K型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動(dòng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的實(shí)際溫度。（見圖一） · 通過步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝（樣品臺(tái)），最大行程為100mm。 · 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置，坩堝移動(dòng)速度為180mm/min（可根據(jù)要求提供變速控制，但需額外付費(fèi)）。（見圖二） · 在熱電偶上安裝了一個(gè)微型坩堝舟。（ 見圖三） · 可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架，將收取額外的定制費(fèi)（見圖四）。 圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 |
| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。 · 降溫時(shí)請(qǐng)利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問題。 · 該多功能爐適用于以下應(yīng)用： · RTE（快速熱蒸發(fā)）：蒸發(fā)料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺(tái)上，樣品臺(tái)與熱電偶相連接，然后將樣品臺(tái)移動(dòng)到理想的位置（此位置溫度是實(shí)驗(yàn)所需要的溫度）。 · HPCVD（混合物理化學(xué)沉積）：與RTE相似，但需配混氣系統(tǒng)，對(duì)反應(yīng)氣體混合并控制流量，同時(shí)也需設(shè)定蒸發(fā)料的位置（確定蒸發(fā)料的蒸發(fā)溫度）。 · 水平布里奇曼晶體生長(zhǎng)：將樣品和籽晶裝入坩堝中，并將其放置在爐子的中心位置。以所需的速度移動(dòng)坩堝，可以在合適的溫度梯度下生長(zhǎng)單晶。 · 對(duì)于水平定向結(jié)晶（HDC），您可以使用氣體進(jìn)料槽。（見下圖） |
警示 | · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 |
可選配件 | · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖1) · 建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。（請(qǐng)點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）。(圖2) · 可選購(gòu)壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖3) · 可選購(gòu)歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖4) · 可選購(gòu)石英管堵，提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。（圖5） · 可選購(gòu)石英舟盛放樣品。（圖6）
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配） | · 請(qǐng)?jiān)谫?gòu)買爐子前，準(zhǔn)備一臺(tái)電腦。 · 可選購(gòu)MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購(gòu)買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動(dòng)擋板閥。
· 對(duì)于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購(gòu)。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測(cè)量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時(shí)間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯(cuò)誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險(xiǎn)。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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