| 腔體 | l 采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水
l 腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品
l 腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵）
l 腔體尺寸：Φ257*360mm
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| 真空計(jì) | 腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計(jì)和機(jī)械壓力表
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| 電弧槍 | l 共有4個(gè)電弧槍，可讓樣品得到均勻的溫場（電弧槍都帶有冷卻水）
l 鎢電極直徑為Φ4mm
l 電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調(diào)節(jié)
l 起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V
l 熔煉溫度可達(dá)3000℃ |
| 樣品臺 | l 采用水冷銅坩堝
l 可投如樣品量為60g(按鐵計(jì)算) |
| 提拉機(jī)構(gòu) | l 控制器控制提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度，轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速
l 提拉速度：0.2-10mm/h
l 提拉行程：0-70mm
l 轉(zhuǎn)速：0-40RPM |
| 控制單元 | 可顯示和設(shè)置單晶生長的參數(shù)（起弧電流，提拉桿轉(zhuǎn)速，提拉行程和轉(zhuǎn)速） |
| 真空泵 | l 設(shè)備中配有一分子泵系統(tǒng)（機(jī)械泵+渦旋分子泵）
l 抽氣速率：100L/S
l 可使設(shè)備腔體的真空度達(dá)到10-5Torr(40分鐘內(nèi)) |
| 循環(huán)水冷機(jī) | l 功率：800W
l 水流速度：58L/min
l 制冷能力：5004W（17500Btu/hour）
l 溫度控制：5~30 °C |
| 設(shè)備尺寸 | 800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H) |
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