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晶體生長爐
關(guān)鍵字：
提拉法
型號：
SKJ-50CZ
產(chǎn)品概述：
SKJ-50CZ是一款高質(zhì)量的CZ晶體生長爐，可針對于材料的實驗探索，也可以適用于晶體材料的生產(chǎn)。此款晶體生長爐已經(jīng)被證實可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶，如藍寶石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等，最高溫度可達2100℃，最大可長出晶體尺寸為2英寸。
技術(shù)參數(shù)（圖片僅供參考，以最終實物為準）
免責聲明： 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差，請勿復制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細信息及更多參數(shù)，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，請勿將此參數(shù)用于招標文件或者合同，科晶公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
技術(shù)參數(shù)

·工作電源AC 380V，三相，25KW

·感應射頻0.2-20KHz

·最高熔煉溫度2100℃
真空腔室

· 采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體，確保設備工作室表面溫度≤70℃，

· 腔體尺寸：φ500*700mmH

· 腔門上有一個80*300mm的方形觀察窗口，方便晶體生長過程中實時觀察樣品的熔化和生長情況；

· 腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.5MPa的機械壓力表用于觀察腔室內(nèi)壓力情況

· 一個φ6.35雙卡套接頭做為出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷

· 一個電磁閥可自動控制進氣

· 安裝了一個安全泄壓閥，當腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓，確保腔體的安全

圖片1.png
提拉機構(gòu)

· 直流力矩電機驅(qū)動

·提拉速度：0.01-30mm/h

· 籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：0.1-60 rpm

·最大提拉行程：400mm

·位移精度：0.01mm

圖片3.png
上稱重系統(tǒng)

· 設備標配一套上稱重系統(tǒng)，可以精確的控制晶體生長過程中的工藝參數(shù)。

· 秤量程：5.2 KG

· 秤精度：0.01g

圖片3.png
控制系統(tǒng)

整個電路控制系統(tǒng)在工控機上面實現(xiàn)操作控制,采用國際通用的labview軟件進行控制，可以實現(xiàn)以下功能：

· 生長斜率及控制參數(shù)設定；

· 控制晶升，動態(tài)可調(diào)

· 控制晶轉(zhuǎn)，可設定多段速自動執(zhí)行

· 檢測晶體實時重量并反饋至歐陸表組成閉環(huán)控制

· 腔體真空壓力檢測

· 報警監(jiān)測，晶升晶轉(zhuǎn)中頻氣壓及稱量程等上限報警

· 實時數(shù)據(jù)曲線，晶體生長圖例模擬

· 數(shù)據(jù)記錄，自動存儲運行數(shù)據(jù)

QQ截圖20221025145413.png
水冷系統(tǒng) （選配）

· 工作電流：2.1-12.9A

· 制冷量：49474Btu/h

· 最大流量：117L/min

· 水箱容量：75L

圖片5.png
真空系統(tǒng) （選配）

機械泵技術(shù)參數(shù)：

· 型號：VRD-48

· 抽氣口接口尺寸：KF40

· 抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S  

· 電機功率：1500 W  

· 極限壓強4×10-2 Pa

分子泵技術(shù)參數(shù)：

· 抽氣速率：700L/s

· 極限壓強：6×10-6 Pa

· 啟動時間：≤9min

· 額定轉(zhuǎn)速：36000rpm/min

· 冷卻方式：水冷

· 抽氣口接口尺寸：CF160
坩堝系統(tǒng) （選配）

? 可選銥坩堝及相應的保溫材料組件

 此單晶爐最大可生長晶體尺寸為≤φ2英寸*80mm
產(chǎn)品尺寸

? 爐體：880mm(L) x 1250mm(W) x 2640mm(H)

? 控制柜：600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H)

? 中頻柜：965(L) x 812mm(W) x 1219mm(H)
保質(zhì)期

? 一年保質(zhì)期，終生維護（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）
產(chǎn)品重量

2200kg
應用注意事項

? 本公司多種單晶均由此單晶爐生長，如藍寶石, LaAlO3, LAST, SrLaAlO3, LiAlO3等

? 可點擊下圖查看用此單晶爐生長Ge單晶的實物圖片

圖片6.png    圖片7.png   圖片8.png

 原料熔化                   下籽晶                  籽晶提拉

圖片9.png      圖片10.png

藍寶石                     Ni單晶

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責。
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