| 設(shè)備名稱型號(hào) | ·2000℃感應(yīng)加熱爐(石英腔室φ220*500mm) SP-85KTC |
| 感應(yīng)電源 | · 工作電壓：380V AC，50/60Hz,三相 · 工作電流: 3~28A · 最大輸入功率: 15 KW · 輸出頻率: 20-100 kHz(不可調(diào)) · 負(fù)載持續(xù)率: 100% · 感應(yīng)線圈: 236mm(OD) x 220mm(ID) x 70mm(H) · 保護(hù)：自動(dòng)水壓，超溫和超功率保護(hù)
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| 密封法蘭&石英腔體 | · 石英腔室尺寸：外徑φ216*內(nèi)徑φ208*500mm · 頂部法蘭為不銹鋼鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm。法蘭上含有一個(gè)1/4″的鎧裝接口，用于安裝測(cè)溫?zé)犭娕紲y(cè)量樣品溫度； · 安裝了一個(gè)機(jī)械壓力表用于觀察腔室內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa（可選配安裝數(shù)顯壓力表）；一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷； · 進(jìn)氣口通過四氟管與浮子流量計(jì)連接，流量計(jì)量程為0.2-2L/min； · 底部法蘭含有一個(gè)KF25的抽真空接口，可通過波紋管與真空泵相連。標(biāo)配KF25擋板閥和KF25波紋管
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| 石墨坩堝，耐火材料&防護(hù)罩 | · 一個(gè)高純石墨坩堝：外徑Φ114×內(nèi)徑Φ100×深度142mm,用于加熱和熔煉金屬，最大容量：樣品所占容積為石墨坩堝容積的1/2； · 可熔煉物料質(zhì)量：最大4Kg（按純鐵的密度計(jì)算）； · 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）； · 三塊鋼化玻璃圍著石英腔體形成了一個(gè)保護(hù)罩，保證了實(shí)驗(yàn)的安全性
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| 溫控系統(tǒng)&熱電偶 | · 精密數(shù)顯溫控系統(tǒng)，采用PID調(diào)節(jié)方式 · 可設(shè)置28段升降溫沖虛 · 帶有過熱和斷偶保護(hù) · 控溫精度：+/- 3 oC · 熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mm L ) · 連續(xù)工作溫度: 800oC~1600oC（1600℃<4小時(shí)） · 最高工作溫度: 2000℃(<30min) · 升溫速率：室溫—1000度為1度/s， ·1000度-1500度1度/2s， ·1500度-1650度1度/4s， ·在1000度以下溫度會(huì)有所波動(dòng)，請(qǐng)?jiān)?000度恒溫10min。 · 注意：當(dāng)使用溫度高于1700℃時(shí)，必須加上熱電偶保護(hù)套（鉭管）。長(zhǎng)時(shí)間的高溫（1700℃以上）會(huì)導(dǎo)致保護(hù)套（鉭管）表面氧化、損壞，此時(shí)需更換保護(hù)套（鉭管）（保護(hù)套（鉭管）是消耗品，需要及時(shí)更換）
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| 水冷機(jī)（選配） | · 型號(hào)：CW-5300 · 輸入電壓：220-240V 50HZ · 輸入電流：0.5-4.5A · 制冷量：27808Btu/h · 制冷劑：R-410a · 安全保護(hù)：壓縮機(jī)過流保護(hù)，流量報(bào)警，超溫報(bào)警 · 水泵功率：0.37KW · 水箱容量：45L · 最大揚(yáng)程:45M · 最大量程:45-75L/min · 凈重：150Kgs · 機(jī)器尺寸：76×65×110cm﹙L×W×H﹚
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| 真空系統(tǒng) | · 型號(hào)：VRD-8 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負(fù)載） · 抽氣速率：2.2L/s · 抽氣口：KF25接口
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| 外形尺寸 | ·1300L×700W×1300Hmm
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| 重量 | ·約100KG |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護(hù) · 特別提示： ·1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) ·2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號(hào)：M.2021.206.C67999 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 注意事項(xiàng) | ·為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶，在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程必須在流動(dòng)惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM
·C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)
·熔融時(shí)間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品，請(qǐng)聯(lián)系我們的工程師咨詢
·感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi
·必須在氣缸上安裝減壓閥，將壓力限制在3psi以下，以保證安全運(yùn)行。點(diǎn)擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝
·當(dāng)出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時(shí)，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測(cè)室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過3psi，請(qǐng)立即打開氣體釋放閥門，以防止不可預(yù)見的損壞 |
| 應(yīng)用 | ·PVT(物理蒸氣運(yùn)輸)系統(tǒng)通過改變一個(gè)合適的坩堝，使其能夠成為生長(zhǎng)長(zhǎng)型碳化硅晶體，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片或問我們的工程師如何
·此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
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應(yīng)用注意事項(xiàng)
| · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向剛玉管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 實(shí)驗(yàn)時(shí)，石英管內(nèi)必須通入惰性氣體保護(hù)氣氛，以保護(hù)石墨坩堝和C型熱電偶。 · 氣體的流量應(yīng)＜200SCCM（200ml/min） |
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