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1200℃三溫區(qū)管式爐(溫區(qū)610mm,可選石英管和法蘭60-130mm)
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1200℃三溫區(qū)開啟式管式爐 (可選130mm爐管和法蘭)
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1200℃三溫區(qū)管式爐(配279mm或381mm石英管,鉸鏈式法蘭)
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1200℃三溫區(qū)管式爐(配381mm石英管,鉸鏈式法蘭)
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1200℃三溫區(qū)三通道混氣真空滑動管式爐(配130mm石英管和防腐真空計)
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1100℃三溫區(qū)粉末CVD回轉(zhuǎn)爐(配381mm內(nèi)徑石英管)
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1150℃三溫區(qū)管式爐