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管式爐 ф?120及以上
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  • 1100°C豎式哈弗爐
  • 1100℃大口徑雙溫區(qū)管式爐
  • 1200℃三溫區(qū)管式爐(溫區(qū)610mm,可選石英管和法蘭60-130mm)
  • 1200℃三溫區(qū)開啟式管式爐 (可選130mm爐管和法蘭)
  • 1200℃三溫區(qū)管式爐(配279mm或381mm石英管,鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm)
  • 感應(yīng)加熱爐
  • 分體式立式管式爐(配130mm石英管,真空法蘭)
  • 1200℃三溫區(qū)管式爐(配381mm石英管,鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm)
  • 1200℃三溫區(qū)三通道混氣真空滑動(dòng)管式爐(配130mm石英管和防腐真空計(jì))
  • 開啟式單溫區(qū)管式爐,帶5英寸直徑石英管和真空法蘭,36英寸加熱區(qū)
  • 1200℃七溫區(qū)開啟式管式爐
  • 1100℃真空箱式爐 (配7.6L腔室,直通法蘭)
  • 1100℃三溫區(qū)粉末CVD回轉(zhuǎn)爐(配381mm內(nèi)徑石英管)
  • 1150℃三溫區(qū)管式爐

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