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2100℃上稱重CZ晶體生長爐
型號：
SKJ-50CZ
產(chǎn)品概述：
SKJ-50CZ 是一款高真空上稱重CZ法 晶體生長爐，最高溫度可達 2100℃,單晶生長尺寸為 2 英寸，配有高精度在線稱量裝置，稱量裝置位于提拉機構(gòu)上部，最大稱重5Kg，精度0.1g；帶有快慢速切換的高精度提拉機構(gòu)，最慢提拉速度可保證0.03mm/h；配有中/高頻切換復(fù)合感應(yīng)電源，以滿足不同材料融化工藝，全不銹鋼水冷腔體，搭配分子泵，最高真空度可達5.0X10-3Pa，此款晶體生長爐已經(jīng)被證實可以制備各種氧化物單晶、金屬單晶以及各種CZ法適用的體系材料，如藍寶石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge，Cu等。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱型號

·2100℃上稱重CZ晶體生長爐  SKJ-50CZ
特點

·采用高精度上稱重模式CZ晶體生長

·配有中頻/高頻電源，可以真空感應(yīng)熔煉和磁懸浮真空熔煉爐兩用，

·真空度最高5.0*10-3pa

·配有自動控制和預(yù)設(shè)工藝的軟件系統(tǒng)

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基本參數(shù)

·電源電壓：三相 AC380 50/60Hz

·總功率：80KW

·最高熔煉溫度:2100D℃

·中頻電源功率：35KVA,電源頻率：1-20KHZ, 輸出電流：10-70A 輸出電壓：70-550V

·高頻電源功率：30KVA,電源頻率：20-200KHZ,輸出電流：7-70A 

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真空腔體

·采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體，確保設(shè)備工作室表面溫度≤70℃

·腔體尺寸:Ф500*700mmH

·腔門上有一個80*300mm的方形觀察窗口，方便晶體生長過程中實時觀察樣品的熔化和生長情況

·腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.5MPa的機械壓力表用于觀察腔室內(nèi)壓力情況

·預(yù)留G1/4進氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷

·預(yù)留G1/4出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷

·安裝了一個安全泄壓閥，當腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓，確保腔體的安全

·裝有攝像頭，用于攝錄晶體生長過程

·裝有紅外測溫儀，用于測量坩堝內(nèi)物料溫度
提拉機構(gòu)

·采用伺服電機+諧波減速器來提拉籽晶桿

·采用高精度直線模組可以防止晶體生長提拉過程中卡頓

·體移動有慢速提拉和快速移動兩種模式

·提拉行程：200mm

·提拉速度：0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào)，精度+/-1um)

·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：1-60 rpm

·可根據(jù)客戶要求來定制爐體移動速度范圍

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上稱重系統(tǒng)

·設(shè)備標配一套上稱重系統(tǒng)，可以精確的控制晶體生長過程中的工藝參數(shù)。

·秤量程：5KG

·稱精度：0.1g

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控制系統(tǒng)

·整個電路控制系統(tǒng)在工控機上面實現(xiàn)操作控制,采用國際通用的 labview 軟件進行控制，可以實現(xiàn)以下功能：

·生長斜率及控制參數(shù)設(shè)定；

·控制晶升，動態(tài)可調(diào)

·控制晶轉(zhuǎn)，可設(shè)定多段速自動執(zhí)行

·檢測晶體實時重量并反饋至歐陸表組成閉環(huán)控制

·腔體真空和壓力檢測

·報警監(jiān)測，晶升晶轉(zhuǎn)中頻氣壓及稱量程等上限報警

·實時數(shù)據(jù)曲線，晶體生長圖例模擬

·數(shù)據(jù)記錄，自動存儲運行數(shù)據(jù)

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坩堝系統(tǒng)

·坩堝組件可以選配：銥坩堝，鎢坩堝,BN坩堝，剛玉坩堝，Ta坩堝，石墨等

·坩堝尺寸：外徑100mm,壁厚3mm,高80mm,坩堝外部采用石英砂作為保溫材料，最外層通過一個石英管進行固定。（注：坩堝尺寸可以依據(jù)要求定制）

·此單晶爐常規(guī)可生長晶體尺寸為≤Ф2”*高度100mm

（如需要大尺寸單晶生長，可聯(lián)系我司）

·注：晶體生長尺寸不僅和提拉行程有關(guān)系，還和溫度、坩堝大小、保溫組件，線圈大小等因素相關(guān)，

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UPS電源

·系統(tǒng)配置一套 UPS 電源，用于緊急斷電情況下，對整個控制系統(tǒng)進行不間斷供電

? 額定功率：5 KVA

? 輸入電源電壓：AC 220V

? 輸入頻率：40-70HZ

? 輸出電壓：AC 220V

? 輸出頻率：50/60 HZ

? 功率因數(shù)：99.9%（滿載）

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紅外測溫系統(tǒng)

·測溫范圍：100℃—3000℃

·測溫精度：±1% FS

·重復(fù)精度：±0.5% FS

·距離系數(shù): 400:1

·響應(yīng)時間(95%)： ≤50 ms

·發(fā)射率：0.10~1.00 可調(diào) 步長：0.01

·模擬輸出：4---20mA

·工作電壓：24VDC ± 20%

·目視瞄準，可見光斑指示
水冷系統(tǒng)

·系統(tǒng)配置兩套水冷設(shè)備，一套給感應(yīng)電源和腔體水冷，一套給磁懸浮熔煉坩堝水冷。

·感應(yīng)電源和腔體水冷設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

·工作電流：8.4-34.6A

·制冷量：49474Btu/h

·最大流量：117L/min

·水箱容量：75L

磁懸浮熔煉坩堝水冷設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

·工作電流：2.3-13A

·制冷量：17510Btu/h

·水箱容量：15L

·出入水口： 4 分內(nèi)牙接口

·最大流量:70L/min

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真空系統(tǒng)

機械泵參數(shù)

·型號：VRD-48

·抽氣口接口尺寸：KF40

·抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S

·電機功率：1500 W

·極限壓強4*10-2 Pa

分子泵參數(shù)

·抽氣速率：700L/s

·極限壓強：6×10-6 Pa

·氣動時間≤9min

·額定轉(zhuǎn)速：3600rpm/min

冷卻方式

·抽氣口接口尺寸：CF160
產(chǎn)品尺寸和重量

·爐體尺寸長寬高：1250*1150*2700mm

·電氣柜尺寸長寬高：565*800*1740mm

·中頻電源控制柜尺寸：700*400*835mm

·高頻電源+中頻電源本體尺寸長寬高：1320*820835mm

·UPS電源尺寸長寬高：780*450*600

·重量：1.5噸

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認證

·通過CE認證 

·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

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質(zhì)保

·質(zhì)保一年，終生維護（不包括，爐膛和加熱元件）
操作展示視頻

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