規(guī)格型號 | ·1200℃六通道高潔凈氫氣爐 GSL-1200X-MGI-6-H2 |
產(chǎn)品特點 | ·采用不銹鋼腔體包裹保溫材料,保證爐內(nèi)較高潔凈度 ·爐管和腔體夾層內(nèi)(保溫層)通入惰性氣體,在使用氫氣時如果爐管破裂氫氣逃逸到夾層內(nèi),不會產(chǎn)生爆炸,使用氫氣時設(shè)備更加安全 ·可同時放入6個樣品,在不同溫度下進行熱處理 ·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有氧化鋁涂層,可提高爐膛加熱效率,延長爐膛使用壽命。 ·雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),可保證殼體表面溫度較低。 ·可選配裝壓力傳感器和電磁泄壓閥,具備自動恒、壓超壓泄壓功能,確保設(shè)備更加安全 |
應(yīng)用背景 | ·在清潔室內(nèi)熱處理半導體元件(氫氣氣氛) |
加熱爐基本參數(shù) | · 電源電壓 AC三相380V 50/60HZ, · 最大功率:48KW · 最高溫度1200℃(≤30min) · 長期工作溫度:1100℃ · 控溫熱電偶:K型 · 加熱區(qū)長度700mm · 升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁電阻絲 |
溫控系統(tǒng) | · 溫控模塊+PC機控制方式,標配一套控溫軟件 · 六個通道獨立控溫,可以一鍵六個通道升溫或停止,單個通道也可以單獨控制。 · 包含一款858P 型溫度控制器(也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃) · PID自動控溫系統(tǒng)。 · 智能化50段可編程控制。 · 默認DB9 PC通訊連接端口。 · 控溫精度:±1℃。 · 所有的電氣元件都通過UL或MET認可,并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測試 |
不銹鋼密封法蘭系統(tǒng) | ·六套水冷法蘭,材質(zhì):304不銹鋼 ·密封方式:采用法蘭壓緊O型圈方式 ·前端法蘭采用KF60卡箍形式方便取放樣品,裝有機械壓力表,截止閥,G1/4進氣口 ·后端法蘭留有KF25抽氣口,出氣口和截止閥 · 每個通道有獨立的進氣和出氣口,可實現(xiàn)真空和氣氛下燒結(jié)制備 |
供氣系統(tǒng) | ·標配有6個獨立的進氣口,通過6個40-400ml/min浮子流量計進行氣流量調(diào)節(jié),從左邊出氣然后和法蘭進氣口連接。如下圖 ·如果需要更精確流量,請選擇質(zhì)量流量控制器供氣系統(tǒng) |
控制系統(tǒng) | ·通過PC機可以設(shè)置升--恒--降溫曲線 ·腔體內(nèi)壓力,真空度,溫度都可以在PC機上實時顯示 ·通過軟件可以設(shè)置管式爐的清洗模式:手動清洗和自動清洗, 自動模式為真空泵和進氣系統(tǒng)自動切換工作,可設(shè)定清洗次數(shù) ·通過軟件設(shè)置恒壓燒結(jié)模式:在加熱爐升溫的過程中,選擇恒壓模式,控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)進氣和出氣量,使加熱爐在升溫的過程中保持在微正壓的狀態(tài)。(恒壓范圍100000pa-115000pa) ·實驗數(shù)據(jù)可以進行保存,記錄,下載,也可以生成工藝曲線保存,下次實驗時調(diào)取 |
過壓保護 | 兩種過壓保護措施: ·可選配電子壓力變送器,設(shè)定排氣壓力,高于排氣壓力,排氣閥打開加速泄氣; ·標配安裝過壓機械排氣閥,設(shè)定開啟壓力(0.04mpa) ·可選裝氣體報警器,檢測到危險氣體濃度過高可以自動切斷氣源 ·可選裝與攝像頭手機等聯(lián)動,實現(xiàn)智慧實驗室管理。 |
爐管 | ·高純石英管尺寸: ·25 O.D x 19 I.D x 1200 L (mm) ·50 O.D x 44 I.D x 1200L (mm) ·60 O.D x 55 I.D x 1200 L (mm) ·為了獲得更高的工作溫度,可選用鎳基合金管,溫度可達1200℃ ·也可以選擇鋯合金管,耐堿性腐蝕,長期使用800℃ |
可燃尾氣處理裝置(選配) | 如在氫氣環(huán)境下處理樣品可以選擇氫氣尾氣處理裝置參數(shù)如下: ·可適用多種可燃氣體的尾氣處理(制定氣體需提前和銷售溝通) ·體積小,安裝方便,操作簡單 ·內(nèi)部有電流互感器,檢測到電阻絲沒有加熱時,切斷進氣和出氣 ·電源:AC單相220V 50/60Hz ·功率:200W ·兩路進氣口,惰性氣體進氣口(接氣源)和氫氣進氣口(接氣源),進氣為G1/4雙卡套接口 另外可選高通量版本,進出氣口數(shù)量可定制 ·氣源接入后通過浮子流量計(浮子流量計量程0.1-1L/min)調(diào)節(jié)流量大小,通過G1/4雙卡套接頭輸出后接入管式爐進氣口 ·可燃氣體從管式爐內(nèi)輸出后接入該設(shè)備可燃氣體進氣口,接口為G1/4雙卡套接口 ·點火裝置:采用進口電阻絲加熱點火,表面涂有氧化鋁涂層,減緩電阻絲氧化,裝有電流互感器,可以檢測電阻絲是否加熱。 ·點火異常切斷進氣和出氣,以及加熱爐接觸器(接口預(yù)留,加熱爐進行簡單改造) ·可外接氫氣濃度報警器,檢測到氫氣濃度報警自動切斷進氣及點火(接口預(yù)留),報警器選配 |
氫氣探測器(選配) | · 有兩套氫氣探測器可供選擇: 一套為固定式,安裝在固定支架上面,可以實時監(jiān)測設(shè)備氫氣的泄漏情況; 一套為便攜式,可以隨時對設(shè)備各個接口進行監(jiān)測。 · 氫氣監(jiān)測范圍:1-1000ppm · 工作溫度:-20℃——60℃ · 報警點設(shè)置:氫氣報警器設(shè)置有兩個報警 第一級的報警點50ppm,一旦探測到氫氣濃度達到此值時,氫氣報警器將發(fā)出蜂鳴報警聲,提醒客戶檢查泄露點。 第二級的報警點為100ppm,一旦探測到氫氣濃度到達此值時,系統(tǒng)自動關(guān)閉氫氣進氣閥。 |
真空度(選配) | · 標配機械泵,三相VRD-36,真空度可以達到10-2 ttor · 配套分子泵,真空度可以達到10-5 ttor |
冷水機(選配) | · 型號:CW-6300 · 電源:AC220V 50HZ · 功率:3.5KW · 工作電流:3.4~18.1A · 制冷量:26826 Btu/h · 水箱容量:40L · 出入水口: Rp1" · 泵最大水流速度:75L/min |
外型尺寸 | ·爐體長寬高:1875*1800*1400mm ·電氣柜長寬高:750*600*6800 |
重量 | ·重量約:950KG |
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