設(shè)備名稱 | Mist-CVD系統(tǒng) GSL-1600X-CVD |
工作原理 | ·加熱爐利用電流使爐內(nèi)加熱元件發(fā)熱,采用固態(tài)繼電器進行電路控制,采用溫度傳感器(熱電偶)檢測爐內(nèi)溫度,熱電偶檢測到的溫度反饋到控溫儀表。 ·智能控溫儀可設(shè)置升溫過程(升溫速度),儀表采集到熱電偶反饋的爐內(nèi)溫度信號,會通過PID調(diào)節(jié)輸出合適的電壓信號,固態(tài)繼電器接收到儀表的輸出信號,控制自身的通斷時間從而達到調(diào)節(jié)爐內(nèi)溫度穩(wěn)定的目的,使得高溫爐按照控溫儀設(shè)置好的升溫過程進行升溫。 |
基本參數(shù) | 參數(shù): · 電源:AC220V50HZ · 功率:5.2KW 工作溫度: · 最高溫度:1650度<1h · 連續(xù)工作溫度:≤1600度 · 推薦升溫速率:1400度以下:≤10℃/min,1400-1600度:≤5℃/min,1600-1650度:≤2℃/min · 爐膛尺寸:290*180*170mm(長*寬*高) 溫控系統(tǒng): · 宇電50段智能控溫儀,可設(shè)置50段升降溫程序 · PID方式調(diào)節(jié)溫度 · 帶有溫度上限報警,操過上限溫度會切斷加熱開關(guān),停止加熱 · 控溫精度:±1度 · 熱電偶:B型 · 剛玉管:φ40*1200mm(其它尺寸可定制) |
不銹鋼密封法蘭和接口 | 一對不銹鋼密封法蘭,尺寸:φ40 左端法蘭: · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為進氣口使用 · 一個不銹鋼截止閥控制進氣 · Φ12mm的接口做為霧化氣進口, 法蘭內(nèi)部配置一根φ25*680mm剛玉管伸到爐子加熱區(qū)部分 · 一個量程-0.1—0.15MPa的機械壓力表 右端法蘭: · 一個φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用 · 一個不銹鋼截止閥控制出氣 · 一個KF-25接口做為抽真空接口或連接收集系統(tǒng) · 一個安全閥,當壓力超過0.02MPa時會自動泄壓 |
霧化器 | ·霧化片厚度直徑:1.2mm×φ20 ·頻率:1.7MHz ·工作電壓:24V/650mA ·液體罐標配為316不銹鋼材質(zhì)(PTFE及其它材質(zhì)的罐子可以與銷售聯(lián)系進行定制),并采用氟膠密封圈密封; ·可設(shè)置1-5檔霧化量,通過調(diào)節(jié)檔位大小,控制霧化量的多少; ·可實現(xiàn)連續(xù)運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調(diào) |
注射泵 | · 線速度范圍:6.1um-120mm/Min · 注射液體速度:3.9ul-76.5ml/min(按照60ml注射器計算) · 適用注射器類型:10ul-60ml · 控制精度:當>30%滿程時,控制誤差≤±0.3% · 注射泵尺寸:260*203*131(mm) |
二路浮子系統(tǒng) | · 型號:CGM-2F · 浮子流量計的量程:16-160ml/min · 壓力表量程:-0.1-0.15Mpa · 通氣管道: ?6.35mm的聚四氟管 · 外形尺寸:340L×300D×180H,mm · 重量:6Kg |
高壓電源(選配) | · 功率:30W · 電壓:0-30KV ,正常工作電壓≤15KV 電流:≤1mA · 電壓電流指示:額定輸出電壓下精度為1% |
收料罐(選配) | · 兩個KF-25接口 · 一個高壓電極接入端 · 一個外徑φ12出氣口 · 可觀察罐子內(nèi)部情況的石英觀察窗口,窗口尺寸:φ35*3mm · 收集管放在升降平臺上,可由升降平臺帶動收集罐的升降 · 正極和負極筒之間通過PTFE板連接,實現(xiàn)絕緣 · 收料筒最大容積700ml,有效容積150ml |
真空系統(tǒng)(選配) | · 型號:VRD-8 · 電源:AC220V/50Hz · 功率:0.4KW · 極限真空度:5.0*10-1Pa(無負載) · 抽氣速率:2.2L/s · 抽氣口:KF25接口 |
外形尺寸 | 管式爐尺寸:670長*490寬*770mm高 霧化裝置尺寸:150*150*300mm(長*寬*高) 注射泵尺寸:265*200*150mm(長*寬*高) |
重量 | 約120KG |
保質(zhì)期 | 1年(不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件) |
使用注意事項 | ·爐管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa; ·氣瓶上必須安裝減壓閥; ·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù), 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開出氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) ·我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責。 ·由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過程中會存在斷管的風險,這是無法完全避免的,請客戶知曉 |
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