| 設(shè)備名稱(chēng) | 高溫MIST /LPCVD系統(tǒng) MIST-1600-6 |
| 高頻加熱設(shè)備 | · 感應(yīng)電源型號(hào)：SPG-50K-15AB · 輸入電壓：三相380±20% 50/60Hz · 輸入功率：15KW · 輸出電流：7-70A · 震蕩頻率：30-100KHZ · 保護(hù)系統(tǒng)：帶有水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù) · 加熱系統(tǒng)尺寸：線(xiàn)圈內(nèi)徑Φ220mm，高度70mm,采用Φ8水冷銅管繞制，圈數(shù)4圈 · 冷卻水要求：水壓≥0.2Mpa 水流量≥6L/min 溫度設(shè)定為30℃。 |
| 石英腔室 | · 石英爐管：Φ8.5”*500mm · 石墨樣品臺(tái)：內(nèi)徑φ155mm（可放置6英寸基片） · 保溫材料：石墨氈 |
| 密封法蘭和接口 | 上端法蘭： · 一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用 · 一個(gè)不銹鋼截止閥控制進(jìn)氣； · KF-16的接口連接一個(gè)數(shù)顯防腐真空計(jì)； · 一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用 · 一個(gè)不銹鋼球閥控制出氣； · 一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭作為氣液混合氣的進(jìn)氣口； · 帶安全泄壓閥：當(dāng)氣壓超過(guò)0.02MPa時(shí)會(huì)自動(dòng)放氣 · 帶觀察窗口：可觀察內(nèi)部的情況，尺寸φ35mm 下端法蘭： · 一個(gè)φ6.35mm的鎧裝熱電偶接口，熱電偶可直接插入到石墨樣品臺(tái)底部 · 一個(gè)KF-25抽真空接口 |
| 控溫模式 | 溫控系統(tǒng)： · 50段智能控溫儀，可設(shè)置50段升降溫程序 · PID方式調(diào)節(jié)溫度 · 帶有溫度上限報(bào)警，超過(guò)上限溫度會(huì)切斷加熱開(kāi)關(guān)，停止加熱 · 控溫精度:±1度 · 熱電偶：C型 長(zhǎng)度400mm 工作溫度： · 最高溫度： 1600℃＜1h，1500℃長(zhǎng)期使用 · 推薦升溫速率：≤2℃/S |
| 可加熱氣液混合系統(tǒng) | · 氣液混合罐材料：316不銹鋼 · 容積：100ml · 壓力表范圍——-0.1-0.15MPa · 一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，一個(gè)不銹鋼截止閥控制進(jìn)氣； · 一個(gè)φ6.35mm的卡套接頭作為出氣口使用，一個(gè)不銹鋼截止閥控制出氣 加熱部分： · 出氣管道纏繞加熱帶最高溫度可達(dá)150度，采用K型熱電偶測(cè)溫，由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)進(jìn)行控溫 · 混合罐外面套有加熱環(huán)，最高溫度可達(dá)150度，采用K型熱電偶測(cè)溫，由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)進(jìn)行控溫 |
| 氣體/蒸汽分散噴頭 | · 材料：氮化硼或石墨
· 噴頭直徑：φ4”，噴孔直徑φ0.5mm · 氣液混合罐的出氣口連接到噴頭的進(jìn)氣口，采用不銹鋼進(jìn)行連接，管道外采用了加熱帶進(jìn)行加熱 |
| 數(shù)顯防腐真空計(jì) | · 型號(hào)：3PC3-011-1100（PCG554） · 測(cè)量范圍：800torr到1*10-5torr · 電源：DC24V ，配有220V轉(zhuǎn)24V的電源適配器
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| 水冷設(shè)備（選配 | · 型號(hào)：CW-6200 · 輸入電壓：220-240V 50HZ · 輸入電流：2.3-13A · 最大功率：2.3KW · 水箱容量：15L
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| 真空系統(tǒng)(選配） | · 型號(hào)：無(wú)油真空泵 GSP-3 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：8.0*10-1Pa（無(wú)負(fù)載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 轉(zhuǎn)聲：1800rpm
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| 供氣系統(tǒng)（選配） | · 型號(hào)：GSL-3Z-LCD · 電源：AC220V/50Hz · 功率：500W · 質(zhì)量流量控制器量程：100.200.500（量程可選，氣體可選） · 三路進(jìn)氣一路出氣（進(jìn)氣出氣方式可選） · 機(jī)械壓力表：-0.1-0.15MPa · 連接管道；直徑φ6.35mm的316材質(zhì)的不銹鋼管 · 觸摸屏界面：方便操作
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| 氣體探測(cè)器（選配） | · 可選配氫氣探測(cè)器在此系統(tǒng)中，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備氫氣的泄漏情況； · 氫氣監(jiān)測(cè)范圍：1-1000ppm · 工作溫度：-20℃——60℃ · 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置：氫氣報(bào)警器設(shè)置有兩個(gè)報(bào)警，第一級(jí)的報(bào)警點(diǎn)50ppm，一旦探測(cè)到氫氣濃度達(dá)到此值時(shí)，氫氣報(bào)警器將發(fā)出蜂鳴報(bào)警聲， 提醒客戶(hù)檢查漏氣點(diǎn)。第二級(jí)的報(bào)警點(diǎn)為100ppm，一旦探測(cè)到氫氣濃度到達(dá)此值時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉氫氣進(jìn)氣閥。
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| 外形尺寸 | 700長(zhǎng)*1300寬*1600mm高
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| 重量 | 約100KG |
| 保質(zhì)期 | 1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件） |
使用注意事項(xiàng) | · 腔室內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱， 則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān) 防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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