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1100℃小型氣氛控制RTP管式爐 (130mm石英腔室)
型號：
OTF-1200X-4-RTP-130
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-4-RTP-130是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有Φ130mm 石英管和不銹鋼密封法蘭,它是專為氧化物、半導體或太陽能電池基片（最大達4英寸）的快速退火而設計，采用紅外燈管加熱最快升溫速度為?50℃/秒，精度為?+/-1°C。
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名稱型號

1100℃小型氣氛控制RTP管式爐(130mm石英腔室) OTF-1200X-4-RTP-130
視頻

視頻圖.png

            操作視頻
產(chǎn)品特點

· 紅外加熱,最快升溫速率50℃/S

· 最大4英寸基片都可以放入退火

· 法蘭安裝在滑軌可以直接推拉，實現(xiàn)快速降溫。

· 可以選配壓縮波紋管在氣氛環(huán)境下冷卻

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加熱爐系統(tǒng)

· 輸入電源 AC 380V 50HZ，最大功率：24KW

· 最高工作溫度：900℃（＜30min)，長期工作溫度：800℃

· 控溫熱電偶：進口K型熱電偶，緊貼在放樣品ALN片下

  （ALN片為標配，可按照客戶要求定制不同材質(zhì)基片）

· 加熱元件：紅外燈管 12根短波紅外燈管，每根2KW

· 加熱區(qū)尺寸：Ф210mm*320mm

· 室溫至900℃：建議升溫速率10 ℃/s  最大升溫速率50 ℃/s

· 降溫速率: 800℃-350℃降溫速率55℃/min  350℃-200℃降溫速率5℃/min(在一個大氣壓下，樣品架在爐子內(nèi)）

   降溫速率：800℃-350℃降溫速率200℃/min  350℃-50℃降溫速率35℃/min（在一個大氣壓下，樣品架拉到爐體外）

· 標配浮子流量計：16-160ml/min

· 石英管 外徑130mm x內(nèi)徑120mm x 600mm L

· 包含一款808P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃）

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制

· 控溫精度：±1℃

· 默認DB9 PC通信連接端口

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不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)

·水冷密封法蘭，密封法蘭和腔體法蘭之間采用硅膠O型圈密封方式。

·左端法蘭裝有機械壓力表和進氣截止閥，左邊爐體上留有進氣口，進氣時，氣體通過浮子流量計后進入法蘭進氣口，然后進入爐管內(nèi)。

·左端法蘭內(nèi)側(cè)有石英制隔熱擋板。

·右端法蘭上裝有出氣截止閥，一個KF25接口用于抽真空，一個1/4英寸雙卡套接頭用于插入熱電偶。

·右端法蘭內(nèi)側(cè)有石英制隔熱擋板和樣品支架，熱電偶測溫點位于樣品正下方。

·右端法蘭安裝在滑軌上可以直接推拉，實現(xiàn)快速退火。

圖片4.png圖片5.png
水冷機（選配）

· 型號：KJ-5000

· 工作電壓：AC 220V 50HZ

· 工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

· 壓縮機功率：300W，水箱容量：6L

· 最大流量：16L/min，凈重：24 Kg

圖片6.png
真空系統(tǒng)（選配）

· 配套機械泵，真空度可以達到10-2 ttor

· 配套分子泵，真空度可以達到10-5 ttor

圖片7.png 圖片8.png
產(chǎn)品尺寸

外形尺寸：1100*700*660mm（長*寬*高 法蘭關閉）

外形尺寸：1400*700*660mm（長*寬*高 法蘭打開）

外形尺寸：1100*700*950mm（長*寬*高 爐子打開，法蘭打開）

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重量

約100kg
保質(zhì)期

1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）
使用注意事項

· 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，

   建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；

· 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，

   若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。

   由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。
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