| 設(shè)備名稱 | 智能雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng) OTF-1200X-80-Ⅱ-4CV-CMPE-SL（2021.02.01—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·智能控制模塊，參數(shù)顯示更直觀更易操作； ·射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ·4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控； ·爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。 |
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操作視頻 |
| 加熱爐參數(shù) | ·雙溫區(qū)爐膛 ·最高溫度: 1200℃（≤2h） ·額定工作溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率:≤10℃/min （最高40℃/min 800℃ 注：急速升溫影響設(shè)備使用壽命） ·加熱區(qū)長(zhǎng)度: L總：400mm； 溫區(qū)一：200mm 溫區(qū)二：200mm ·加熱爐額定功率：3KW/220V （配置空開30A） ·滑動(dòng)方式：手動(dòng) ·電壓：?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50HZ ·石英管堵 ·爐管規(guī)格：外徑:80mm，內(nèi)徑:74mm，L長(zhǎng): 1800 mm ·材料：高純石英 |
| 溫控系統(tǒng) | ·模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能 ·智能化50段可編程控制 ·具有超溫及斷偶報(bào)警功能 ·控溫精度: ±1℃ ·帶RS485通訊接口 PC接入，并附帶控制軟件，加熱爐數(shù)據(jù)可每分鐘記錄保存一次。 ·帶過電流過電壓保護(hù) 漏電保護(hù) 電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) |
| 軟件控制 | 傳統(tǒng)PECVD與開發(fā)的智能通訊模塊組合，可對(duì)傳統(tǒng)PECVD實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化升級(jí) ? 可自由搭配各種系統(tǒng)控制組合自定義CVD系統(tǒng)，例如溫控系統(tǒng)可選擇溫區(qū)或各品牌儀表控制；氣路系統(tǒng)可選擇設(shè)備型號(hào)，計(jì)算氣體總摩爾質(zhì)量，可以搭配射頻電源系統(tǒng)，真空系統(tǒng)等我公司生產(chǎn)的其他CVD系統(tǒng)模塊，通過智能控制盒和上位機(jī)自定義CVD生態(tài)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)隨意自定義組合CVD系統(tǒng)控制生態(tài)平臺(tái)，控制可搭配觸摸式一體機(jī)或者WIFI連接筆記本和臺(tái)式設(shè)備，搭配智能控制盒擴(kuò)展接口可利于客戶后期采購任意CVD模塊升級(jí)現(xiàn)有CVD設(shè)備，例如后期增加壓力可控模塊可在購買該系統(tǒng)模塊后連接通訊線至智能控制盒，在軟件界面選擇該系統(tǒng)模塊即可在現(xiàn)有的CVD模塊控制界面添加壓力可控功能。 ? 使其具備了自動(dòng)化運(yùn)行，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，以及遠(yuǎn)程操作性能 該模塊可對(duì)所有我公司CVD模塊進(jìn)行連接，并搭配家用路由器可實(shí)現(xiàn)無線遠(yuǎn)程的操控和存儲(chǔ)。
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| 射頻電源 | ·500W射頻電源 ·0--500W可調(diào)（穩(wěn)定性±1%） ·射頻頻率：13.56MHZ ·自動(dòng)匹配 風(fēng)冷 ·噪音＜50dB ·輸入電壓：AC108-250V |
| 供氣系統(tǒng) | ·四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%） ·流量范圍：一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ·連接接口：6.35mm雙卡套連接 ·金屬管路：材質(zhì)：SUS316 φ外：6.35mm φ內(nèi)：4mm ·軟管路：材質(zhì)：特氟龍 φ外：6.35mm φ內(nèi)：4mm 注：接入供氣系統(tǒng)的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下 |
| 真空系統(tǒng) | ·采用TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s） ·KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵 ·配置KF-25真空手動(dòng)擋板閥 ·真空度可達(dá)10-2Torr |
| 產(chǎn)品重量和尺寸 | ·爐體尺寸：2200 mm L*850mmW*1400mm H；
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| 認(rèn)證 | ·CE認(rèn)證 ·所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ·如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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| 承諾 | ·一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
警示 | ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02 MPa； ·由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加精確安全； ·石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃； ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | ·通入爐內(nèi)氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管造成沖擊； ·加熱時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 ·采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設(shè)備需要特殊改造及測(cè)試，（有法蘭過熱情況） ·壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進(jìn)氣量為100-150sccm，管內(nèi)壓力為 100-130pa，如總進(jìn)氣量高于150sccm時(shí)，請(qǐng)更換抽速更高的泵，測(cè)試為總進(jìn)氣量為1L/min（滿足四路質(zhì)量流量計(jì)全開狀態(tài)時(shí)），使用VRD-60泵（抽速18L/s），最高真空為120-130pa（滿足起輝條件） ·如需對(duì)管內(nèi)壓力測(cè)控，需搭配恒壓系統(tǒng)，恒壓系統(tǒng)可連接CVD生態(tài)控制系統(tǒng) ·配置石英管堵時(shí)，為避免負(fù)壓造成管堵移位，管堵?lián)p壞，請(qǐng)?jiān)谡婵毡瞄_啟前先關(guān)閉真空擋板閥，后緩慢開啟真空擋板閥，避免管壓差過大導(dǎo)致管堵移動(dòng)，撞擊法蘭損壞。 |
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