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1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
型號：
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機復(fù)合粉末的熱處理以及粉末表面的改性處理工藝中（如：粉體摻雜（空穴、間隙原子）、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等）。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

? 1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶實驗室審核）
產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示
展示

1.gif

        30ml粉料
產(chǎn)品特點

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；

? 爐體開啟式設(shè)計，以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。  
工作電源

? 輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz

? 總功率：<4KW
加熱爐參數(shù)

? 最高溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

? 兩個PID溫度控制器及50段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 工作電壓：110V；

? 額定功率：1.5KW；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm。

 OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1.png




更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部
射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。


300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

300W射頻電源.jpg500W射頻電源.jpg100W射頻電源.png
真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

 真空系統(tǒng).png
供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。

 四通道質(zhì)子圖1.jpg  四路質(zhì)子圖2.png
循環(huán)水冷機

? 標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機，水流速率：16L/min

 水冷機.jpg
產(chǎn)品尺寸和重量

? 尺寸：1400mm L′600mm W′1240mm H

? 凈重：90 kg 

 產(chǎn)品尺寸.jpg
認(rèn)證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

 認(rèn)證.png
承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

科晶應(yīng)用技術(shù)實驗室利用PECVD沉積Sb2Se3薄膜，實驗結(jié)果如下：



組別

SEM結(jié)果

元素百分比

Sb (%)

Se(%)

未經(jīng)任何處理的樣品

1.jpg

2.jpg

40.01

59.99

75W等離子體處理5 min

3.jpg

4.jpg

41.04

58.96

150 W等離子體處理5 min

5.jpg

6.jpg

41.64

58.36

300 W等離子體處理5 min

7.jpg

8.jpg

41.86

58.14

小結(jié):

（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；

（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。




組別

SEM結(jié)果

元素百分比

Sb (%)

Se(%)

10W、3Pa條件下沉積Sb2Se3

9.jpg

10.jpg

40.01

59.99

75W、133Pa條件下沉積Sb2Se3

11.jpg

12.jpg

70.28

29.72

75W、3Pa且補充0.1g Se粉沉積Sb2Se3

13.jpg

14.jpg

43.13

56.87

75W、3Pa且補充0.02g SnSe2粉末（10%質(zhì)量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3

15.jpg

16.jpg

Sn: 22.78 Sb: 25.77

51.44

小結(jié):

（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；

（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；

（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；

（4）當(dāng)SnSe2質(zhì)量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于1的薄膜，該方法適用于摻雜。




XRD結(jié)果： 實驗 17.jpg


pecvd.png


警示

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02 MPa；

? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全；

? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃；

? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。

應(yīng)用技術(shù)提示

? 通入爐內(nèi)氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊；

? 加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。


石英管

? 高純異形石英管

? 尺寸：50 mm OD（兩端）′60mm ID（中間）′1100mm L

密封法蘭

? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）；

? 磁流體密封旋轉(zhuǎn)接頭安裝在兩端，以保證旋轉(zhuǎn)過程中進氣管和其它附件的正常使用，避免卷繞。

法蘭 1.png  法蘭 2.png

        配件法蘭1               配件法蘭2

進料/收料器

? EQ-PF-1S是一款容積式自動進料器，包含電動攪拌器及帶有振動裝置的不銹鋼料斗，可實現(xiàn)固體粉料的自動化進料，從而實現(xiàn)固態(tài)粉料的連續(xù)式燒結(jié)/熱處理；

? 2L不銹鋼收集桶安裝在右側(cè)，可實現(xiàn)真空氣氛保護環(huán)境下的粉料樣品收集（標(biāo)配中包含）

進料器.jpg  收料器.png

        進料器                      收料器

防腐型真空表（可選）

? 輸入電源24V，1A  DC（配有電壓轉(zhuǎn)換器）；

? 測量范圍3.8′10-5-1125 Torr；

? 數(shù)據(jù)顯示：數(shù)顯（屏幕尺寸為20′14mm），其單位為torr

? 連接：1/8"NPT 接頭

? 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H)

配件真空表.jpg

水冷機（可選）

? 工作電壓：220V AC 50Hz

? 工作電流：220V，0.8~4.5A

? 壓縮機功率：0.6 KW (0.8HP)

? 制冷量：2000W (7000Btu/hour)

? 冷卻劑：R22/R410-a (650g)

? 溫度控制：5~30℃

? 控溫精度：±0.3℃

? 水流速率：16 L / min ( 高25m，35psi )

水冷機5300.png


控溫儀表（可選）

? 單回路、雙回路和三回路控制模式；

? 每個回路可實現(xiàn)雙輸入，雙保護；

? 各回路可PID、串級、比率等回路控制；

? 數(shù)碼顯示，配備7個按鍵，可用于進行各控制回路的切換和參數(shù)修改；

? 最多可存儲50個程序，每個程序最多可有3個不同的設(shè)定值（即3條不同的曲線），最多可設(shè)置500段升降溫程序；

? 通訊方式多樣，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口，可連接PC進行遠(yuǎn)程控制。

歐陸.jpg

真空系統(tǒng)（可選）

? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進口高真空設(shè)備，以滿足在不同真空條件下的實驗需求。

低真空系統(tǒng)

國產(chǎn)高真空系統(tǒng)

進口高真空系統(tǒng)

低真空系統(tǒng).png高真空.jpg進口高真空.png

                     

供氣系統(tǒng)（可選）

? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計可供選擇，以實現(xiàn)氣體流量的精確控制。


１浮子.png 1通道質(zhì)子.jpg 2通道浮子.JPG 2通道質(zhì)子.jpg3通道浮子（防腐）.jpg

   單通道浮子     單通道質(zhì)子        兩通道浮子      兩通道質(zhì)子    多通道浮子（防腐）


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