| 主要參數(shù) | 射頻功率：0-500W 總功率：1.5KW 電源：AC220V 50/60Hz |
| 射頻電源 | 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié) 頻率：13.56MHz 注：可與本公司工作人員聯(lián)系選購(gòu)1KW高功率等離子刻蝕清洗機(jī) |
| 等離子腔體 | 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 此設(shè)備完全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏 |
| 控制面板 | 通過(guò)6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量 |
| 真空泵（選配） | 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 極限真空度為80mTorr（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊）
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| 通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） 不能使用易燃?xì)怏w及腐蝕性氣體。 |
| 可選 | 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
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| 產(chǎn)品尺寸 | 600mm L×600mm W×810mm H
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| 質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期，終生維護(hù) 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過(guò)CE認(rèn)證 證書(shū)編號(hào)：M.2021.206.C67994 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 相關(guān)應(yīng)用 | 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率 對(duì)于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 -100W之間 對(duì)于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在300-500W之間 |
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