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1200℃三溫區(qū)雙管CVD爐 (制備石墨烯薄膜)
關(guān)鍵字:
真空、電阻絲、開啟式
型號:
OTF-1200X-III-D5- 4
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐,其最高工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
特征
  • 石英爐管外管直徑為 130 mm,內(nèi)管直徑為101mm,使用時把金屬箔附在內(nèi)管壁上

  • 特殊的真空法蘭可以使反應(yīng)氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內(nèi)管通過,對基底進(jìn)行快速冷卻

  • 最高工作溫度:  1200°C(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)


爐體結(jié)構(gòu)
  • 三個加熱溫區(qū)總長: 900mm36"

  • 溫區(qū) 1: 229mm  (9")

  • 溫區(qū)2: 457mm  (18.0")

  • 溫區(qū)3: 229 mm (9")

  • 恒溫區(qū):625mm(三個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系

  • 恒溫精度: +/- 1°C

  • 三個溫區(qū)采用PID50段程序化獨(dú)立控制

  • 控溫精度: +/- 1° C

  • 最高工作溫度:1200℃

  • 連續(xù)使用溫度:1100℃

  • 推薦升溫速率: <= 20°C /min   


爐膛

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

電源
  • AC 208-240V 單相, 50/60 Hz (需要40A 的空氣開關(guān) ).

  • 最大功率:7 KW


爐管
  • 爐管為高純石英管

  • 外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm

  • 內(nèi)管尺寸: 102mm O.D. x   94 mm I.D. x 1540 mm


爐體尺寸

1030 x 430 x 580 mm

凈重

90 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包含爐管,加熱元件和密封圈損耗件)

使用注意事項(xiàng)
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃

  • 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


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