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VTC-3RF

最高500℃

300W自動(dòng)匹配     100W手動(dòng)匹配

1、基臺(tái)可旋轉(zhuǎn)加

2、三靶頭設(shè)計(jì)，可濺射金屬和氧化物

VTC-1RF

最高500℃

300W自動(dòng)匹配     100W手動(dòng)匹配

單個(gè)靶頭，設(shè)備小巧

VTC-2RF

最高500℃

300W自動(dòng)匹配     100W手動(dòng)匹配

單個(gè)靶頭，設(shè)備小巧

VTC-2DC

最高500℃

DC500W

單個(gè)靶頭，設(shè)備小巧

VTC-16-3HD

最高500℃

濺射電流：0-50mA   單次工作時(shí)間：0-5min

1、三靶頭設(shè)計(jì)

2、觸摸屏式控制面板

VTC-16-D

可選加熱基臺(tái)

濺射電流：0-50mA       濺射時(shí)間：0-120S

小型直流，基臺(tái)高度可調(diào)

VTC-16-SM

可選加熱基臺(tái)

濺射電流：0-150mA

1、旋轉(zhuǎn)基臺(tái)

2、靶基距可調(diào)

VTC-5RF

最高600℃

5個(gè)1英寸靶頭設(shè)計(jì)

VTC-600-2HD

最高500℃

DC 500W        RF300W

一靶頭與射頻電源相連，一靶頭與直流電源相連

VTC-600-3HD

最高500℃

1、三靶頭設(shè)計(jì)

2、不銹鋼腔體

VTC-16PW

振動(dòng)樣品臺(tái)

1、對(duì)粉體材料進(jìn)行包覆

2、設(shè)備可在手套箱內(nèi)使用

VTC-3RF

Φ50×（0.1-3）mm

278 OD×272 ID×310Hmm

700×770×1900mm

80kg

VTC-1RF

Φ25.4×（0.1-3）mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm

VTC-2RF

Φ50×（0.1-3）mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm

VTC-2DC

Φ50×（0.1-5）mm

166 OD×150 ID×250Hmm

550×550×1100mm

VTC-16-3HD

166 OD×150 ID×150Hmm

460×330×540mm

50kg

VTC-16-D

Φ50×（0.1-2.5）mm

166 OD×150 ID×150Hmm

460×330×540mm

20kg

VTC-16-SM

Φ50×（0.1-2.5）mm

166 OD×150 ID×290Hmm

460×330×520mm

20kg

VTC-5RF

Φ25×（0.1-3）mm

470×445×522Hmm

60kg

VTC-600-2HD

Φ50×（0.1-5）mm

Φ300×300mmH

1300×660×1200mm

160kg

VTC-600-3HD

Φ50×（0.1-5）mm

Φ300×300mmH

1300×660×1200mm

160kg

VTC-16PW

Φ50×（0.1-5）mm

165 OD×150 ID×250Hmm

460×330×540mm

20kg