| 設備名稱型號 | ·氣液混合分散立式CVD系統(tǒng) (樣品平臺可加熱800℃， 配分散噴頭) CVD-800X-4-PE |
| 基本參數(shù) | ·電源：AC 220V 50/60HZ ·功率：5.1KW |
| 控制面板 | ·所有參數(shù)都通過10英寸觸摸屏設置，包括氣體注入時間，氣體的流量、溫度等 ·控制載氣通道氣體流量的質(zhì)量流量計精度為±1.5%F.S ·可實時顯示腔體內(nèi)部真空度
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| 氣路控制系統(tǒng) | ·設備的整個氣路系統(tǒng)如下：
·5路供氣系統(tǒng)，含有5個質(zhì)量流量計 ·一路、二路：0-50sccm（H2），三路、四路：0-500sccm（Ar） 五路：0-50sccm（H2S）, ·第一路氫氣與第四路氬氣都分成2路，其中一路分別通入氣液混合加熱裝置1和2內(nèi)，另一路與第五路氣體進入混氣罐內(nèi)混合后通過法蘭上的進氣口進入到腔室內(nèi) ·第二路和第三路氣體分別進入氣液混合加熱裝置3和4內(nèi) ·4個氣液混合罐的出氣管道混合后進入到分散噴頭，氣體管道全部包裹了硅膠加熱帶。 ·工作環(huán)境溫度：5-45℃ ·最大耐壓：3*106Pa ·準確度：±1.5%F.S ·第5路氣體的進氣與混氣出氣管道均為316LEP材質(zhì)，且進出氣截止閥為316LEP材質(zhì)的隔膜閥。 |
| 氣液混合罐系統(tǒng) | · 系統(tǒng)配置有7套加熱系統(tǒng)，其中 4套用于氣液混合罐的加熱，用于固相源的氣化 2套用于加熱帶，給管路加熱，保證氣源不被冷卻 1套用于加熱平臺，保證樣品的溫度 ·所有溫度的控制均由觸摸屏（或上位機）進行操作控制 ·氣液混合罐容積：100ml ·氣液混合罐材質(zhì)：316L ·最大壓力：0.15MPa ·壓力表范圍：-0.1MPa—0.15MPa ·最高加熱溫度：200℃ ·控溫精度：±1℃，可實現(xiàn)28段程序PID控溫 ·從氣液混合罐到氣體分散噴頭的氣體連接管路外面都纏繞有管道加熱帶，用于給管道保溫，防止固相源由于溫度過低冷凝。 ·管道加熱帶最高加熱溫度：150℃
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| 氣體/蒸汽分散噴頭 | ·材料：不銹鋼316L（可選配哈氏合金材質(zhì)） ·噴頭直徑：4英寸；噴孔直徑：0.5mm，可選配直徑為2英寸的噴頭 ·φ6.35的卡套接頭為進氣口 ·特殊的流道設計，可使氣體/蒸汽均勻的傳遞和分散到沉積腔體中
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| 樣品臺 | ·4英寸加熱的樣品臺 ·溫度：最高溫度800℃（＜1h）；長期使用溫度：700℃ ·控溫精度：±5℃，可實現(xiàn)28段程序PID控溫； ·可放入樣品最大尺寸：φ100mm ·樣品臺可旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度1-5RPM
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| 真空腔室 | ·石英腔室尺寸：約165 mm 外徑. X 150 mm 內(nèi)徑 x 250 mm高度 ·上下通過304不銹鋼法蘭密封，確保腔體真空度：10-5 torr（分子泵系統(tǒng)），10-2Torr(機械泵） |
| 射頻電源 （選配） | ·本系統(tǒng)可選配加上PE功能，利用射頻電源產(chǎn)生的交變磁場，使反應氣體產(chǎn)生高密度等離子體，從而促進薄膜的沉積和生長。 ·輸出功率：5-100W ·射頻頻率：13.56HZ ·反射功率：最大20W ·匹配：自動 ·射頻接口:50 Ω, N-type ·噪音:<50 dB. ·冷卻:風冷.
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| 恒壓控制系統(tǒng) | 真空泵： ·型號:VRD-24 ·電源：AC380V 60hz ·進氣口：KF25 ·抽速：7.9L/S ·功率：0.75KW ·極限真空：4*10-2（不帶負載） 壓力恒定控制范圍(進氣氣氛為氬氣)： · 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照進氣量為500sccm） · 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照進氣量為300sccm） · 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照進氣量為100sccm） · 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照進氣量為50sccm） 壓力恒定控制精度： · 180mtorr-----2.5torr（±%10） · ＞2.5torr-----10torr（±%40） · ＞10 torr------200torr（±%5）
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| 設備外形尺寸 | ·設備主體尺寸：950mm（L）*650mm（W）*1600mm（H） ·恒壓系統(tǒng)尺寸：600mm（L）*600mm（W）*700mm（H）
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| 重量 | ·約220KG |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護 · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
| 注意事項 | ·腔室內(nèi)壓力不能超過0.02Mpa； ·氣瓶請安裝減壓閥； ·樣品臺、加熱環(huán)和加熱帶可升溫，且最高升溫速率不要超過10℃/min，過高的升溫速率會縮短加熱元件的使用壽命,溫度越高升溫速率要越小 ·本設備不提倡、不建議使用易燃易爆、有毒有害氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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