特點 | EQ-Slide-300 是一款真空自動滑行裝置,連接外徑80 mm爐管可在真空或氣氛下移入和移出樣品; 系統(tǒng)分為兩種工作模式,一種為快速移動模式,可以實現(xiàn)樣品的快速升溫和快速降溫;另一種為慢速移動模式,可以實現(xiàn)單晶和二維材料的生長。 |
移動機構 | ·精密螺桿由直流電機通過真空密封可伸縮的波紋管以兩種速度驅動: 快速移動模式:300mm/min(恒速) 慢速移動模式:0.5mm-30mm/min(可調) ·樣品移動距離:1-300mm(可調) ·移動機構安裝在移動工作臺上,尺寸為600mmx600mmx600mm |
爐管/法蘭 | ·一套 KF25 真空接口和外徑 80 mm 真空密封法蘭,用于連接可伸縮波的紋管和帶有KF25接口的爐管; ·可根據(jù)客戶要求,選配φ100,φ60,φ25等其它尺寸,具體詳詢我們銷售人員 ·真空度:10-5 torr |
樣品架 | ·波紋管中間安裝一根帶有隔熱管堵的不銹鋼棒,棒中插入一根50x50mm石英樣品架,用于盛放CVD或退火的樣品 ·移動機構底部有一個高度可調的工作臺,可以方便對齊 ·可以在樣品架下方放置一根 K 型熱電偶,用于監(jiān)測溫度 |
控制面板 | 移動爐架上,有個7英寸觸摸屏面板和控制盒,可對所有移動參數(shù)進行編程和記錄/顯示樣品的溫度 |
尺寸圖 | |
操作視頻 | |
應用提示 | 該設備僅匹配合肥科晶管式爐,如下鏈接 |
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