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PECVD系統(tǒng)
關(guān)鍵字：
可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。
型號(hào)：
OTF-1200X-II-80-4CLV-PE（帶滑軌）
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-II-80-4CLV-PE（帶滑軌）是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，雙溫區(qū)滑軌爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱型號(hào)

PECVD系統(tǒng) OTF-1200X-II-80-4CLV-PE（帶滑軌）
產(chǎn)品特點(diǎn)

· 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度

· 滑軌爐可使樣品快速加熱和快速冷卻

· 加熱爐含有兩個(gè)溫區(qū)，溫度梯度最大可達(dá)200℃

· 可制備碳、氧化鋅納米管或納米線及單層石墨烯等
滑軌爐參數(shù)

· 電源：AC220V/50HZ

· 功率：3.0KW

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm*2

· 最高溫度：1200度（≤30min）

· 工作溫度：1100度

· 熱電偶：K型

· 智能化儀表，PID控制，30段程序控溫

· 爐體可滑動(dòng)位移：600mm

· 爐管尺寸：φ80*1400mm

圖片1.png
法蘭

· 標(biāo)配一套不銹鋼真空法蘭

· 進(jìn)氣端法蘭上安裝了一個(gè)機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷

· 出氣端法蘭包含一個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個(gè)KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統(tǒng)。一個(gè)KF16的接口用于連接電阻真空計(jì)。

圖片2.png  圖片3.png
真空系統(tǒng)

· 電源：AC220V/50Hz

· 功率：0.55KW

· 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負(fù)載）

· 抽氣速率：3L/s

· 抽氣口：KF25接口

· 可選配真空度更高的系統(tǒng)

圖片4.png
供氣系統(tǒng)

· 型號(hào)：GSL-4Z-LCD

· 質(zhì)量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM

· 量程可以選配

· 精度：±1.5%FS

· 最大壓力：0.3MPa

· 內(nèi)部連接1/4英寸不銹鋼和聚四氟管

· 內(nèi)置不銹鋼混氣罐

圖片5.png
射頻電源

· 功率輸出范圍：0-500W

· 功率穩(wěn)定度：≤±5W

· 射頻頻率：13.56MHZ

· 自動(dòng)匹配

· 噪音：≤50dB

· 冷卻方式：風(fēng)冷

圖片6.png
設(shè)備外形尺寸

約2300長(zhǎng)*700寬*1380mm高

圖片7.png
設(shè)備重量

約240KG
質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

· 特別提示：

1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

· 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa；

· 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全；

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。


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附件

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