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程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀
關(guān)鍵字：
程序控溫
型號(hào)：
GSL-1700X-EV4
產(chǎn)品概述：
程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀GSL-1700X-EV4是一款小型溫控型蒸發(fā)鍍膜儀，內(nèi)部設(shè)有四個(gè)蒸發(fā)坩堝，且每個(gè)蒸發(fā)坩堝都帶有擋板，最多可放置四種不同的蒸發(fā)物料，可在同一氣氛下依次鍍膜，實(shí)現(xiàn)多層膜的沉積工藝，可程序控溫，控溫范圍200-1500度，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1700X-EV4
產(chǎn)品特點(diǎn)

· 含有四個(gè)蒸發(fā)坩堝，可鍍膜4種不同的物料

· 每個(gè)坩堝上方均有擋板，保證了蒸發(fā)物料之間不相互污染

· 采用鎢絲藍(lán)為發(fā)熱源，最高溫度可到1500度

· 可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，保證了薄膜的均勻性
基本參數(shù)

· 電源：AC220V50HZ

· 功率：2.5KW

· 正常工作蒸發(fā)電流≤25A（此電流為電流表上的顯示電流）
溫控系統(tǒng)

工作溫度：

· 最高溫度：1500℃

· 連續(xù)工作溫度：1400℃

· 推薦升溫速率：≤2℃/S，溫度越高升溫越慢

控溫系統(tǒng)：

· 宇電30段智能控溫儀，可設(shè)置30段升降溫程序

· PID方式調(diào)節(jié)溫度

· 帶有溫度上限報(bào)警，操過上限溫度會(huì)切斷加熱開關(guān)，停止加熱

· 控溫精度:±1度

· 熱電偶：4根S型熱電偶

· 系統(tǒng)升溫模式分為自動(dòng)和手動(dòng)模式：自動(dòng)模式下是由控溫儀表按程序

過程進(jìn)行控溫，手動(dòng)模式是調(diào)節(jié)電流大小來控溫，當(dāng)前溫度仍可由儀表來顯示。
真空腔室

· 石英罩：外徑φ280*內(nèi)徑φ262*L310mm

· 四個(gè)蒸發(fā)坩堝：每個(gè)蒸發(fā)坩堝上配有一個(gè)鎢絲藍(lán)，容積為3ml

· 四個(gè)蒸發(fā)坩堝上的物料可依次進(jìn)行蒸發(fā)，不可同時(shí)進(jìn)行

· 四個(gè)蒸發(fā)坩堝上均帶有擋板，每個(gè)擋板均由一個(gè)電機(jī)控制其位置

· 蒸發(fā)坩堝內(nèi)部配備有專門的隔熱氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制。

· 配有裝樣品的氧化鋁坩堝：φ42*36mm

· 真空腔室外有防護(hù)網(wǎng)罩

圖片1.png
法蘭和接口

· 基片臺(tái)：可裝載基片最大尺寸為φ50mm。

· 基片臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，保證鍍膜的均勻性


· 帶一個(gè)直徑φ6.35mm的卡套接頭作為進(jìn)氣口，可通入惰性氣體，面板上有微量調(diào)節(jié)閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣量大小

· 帶一個(gè)手動(dòng)放氣閥

· 帶水冷管接頭，保護(hù)測厚儀

· 法蘭上可安裝測厚儀探頭（測厚儀為選配）

圖片2.png
真空系統(tǒng)

· 分子泵FF100/110(帶控制器）

· 機(jī)械泵 VRD-8

· KF25真空接口

· 真空度：5*10-3Pa（分子泵抽真空1h的數(shù)據(jù)）

· 機(jī)械泵：2Pa（機(jī)械泵抽真空30min的數(shù)據(jù)）

· 如果真空度要求不高可不啟動(dòng)分子泵

· 真空度檢測單元：電離規(guī)和電阻規(guī)


· 顯示儀：復(fù)合真空計(jì)

圖片3.png
薄膜測厚儀（可選）

· 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  

· LED顯示屏顯示，同時(shí)也可輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

圖片4.png  圖片5.png
水冷設(shè)備（選配）

· 型號(hào)：KJ-5000

· 工作電流：1.4-2.1A

· 制冷量：2361Btu/h

· 尺寸：55×28×43cm（長×寬×高）

· 水箱容量：6L

· 水流速率：16L/min

圖片6.png
外形尺寸

1300長*650寬*1450mm高

圖片7.png
重量

約120KG
保質(zhì)期

1年（不包含爐管、O型圈、加熱元件等損耗件）


使用注意事項(xiàng)

· 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa；

· 氣瓶上必須安裝減壓閥；

· 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。


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