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1200oCMist-CVD晶體生長爐（配50mm管式爐）
型號：
OTF-1200X-MCVD-φ50
產品概述：
Mist-CVD系統(tǒng)主要是由單溫區(qū)管式爐、霧化裝置、真空機組以及供氣系統(tǒng)等組成。該設備可將溶于液體的物料通過超聲霧化裝置霧化輸送至爐管腔室內，供氣系統(tǒng)創(chuàng)建腔室內部氣氛環(huán)境，通過將溶劑直接沉積在加熱的基材上，使表面的熱解反應形成產物薄膜?？捎糜谥苽涮技{米管和氧化物外延薄膜。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱

Mist-CVD系統(tǒng) OTF-1200X-MCVD-φ50
視頻

操作(1).PNG 宣傳(1).PNG

               操作視頻                            展示視頻
系統(tǒng)結構

·霧化裝置：配有1.7MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成液體顆粒，導入到管式爐中。
·加熱部分（管式爐）：管式爐最高溫度可以達到1200℃。

·真空系統(tǒng)：GZK-101真空系統(tǒng)，極限真空度為10^-3torr
管式爐-加熱部分

·電壓：單相, 220V AC,50/60 Hz

· 最大功率：3KW

工作溫度

· 連續(xù)工作溫度：1100℃

·最高工作溫度：1200℃（＜1h）

·推薦升溫速率≤ 10℃/min

·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金，表面涂有氧化鋯涂層

· 加熱區(qū)長度：400mm

控溫系統(tǒng)

·可設置50段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護

·控溫精度為：+/- 1oC

爐管

·采用高純石英管

· 石英管尺寸：Φ50*1000mm

密封法蘭

·左端配置有一個KF系列快接法蘭，與霧化裝置相連接（圖一），并通過三通連接有一個機械真空壓力表。

·左端進氣口法蘭通過一個直徑φ25mm的石英管通入加熱爐內部；

·右端配置有一個KF系列的快接法蘭，與真空系統(tǒng)相連

·石英管內配置有一個斜的石英舟，用于放置客戶的基片樣品（圖二）

圖片9.pngimage.png image.png
超聲霧化裝置

共配置有1個霧化裝置

  霧化裝置參數：

·220VAC ，1.7MHz超聲霧化儀

·液體罐標配為316不銹鋼材質（PTFE及其它材質的罐子可以與銷售聯(lián)系進行定制），并采用氟膠密封圈密封；

·可設置1-5檔霧化量，通過調節(jié)檔位大小，控制霧化量的多少；

·可實現(xiàn)連續(xù)運行霧化和定時運行霧化兩種功能。定時時間從30分鐘到180分鐘可調

image.png
四路質量流量供氣系統(tǒng)

·氣路示意圖如下：

image.png

 

 

 

 

 

 




·兩路氣體通過四個流量計，流量計1、3混合后的氣體通入霧化裝置作為霧化載氣；流量計2、4混合后的氣體作為稀釋氣體通過一個三通直接通入爐管。

  供氣系統(tǒng)參數：

·流量計量程：500sccm

·工作電壓：AC  220V/50HZ

·工作溫度：5-45℃

·工作壓強：3×106Pa

·最大輸出功率：23W

·精度：±1.5%FS

·線性：±(0.5～1.5)%F.S.

·重復精度：±0.2%F.S.

·響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

·工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

圖片10.png
真空機組

·型號：GZK-101

·抽氣速率：3L/S
·極限真空:10-1Pa

·雙層立式油霧過濾器（PE材質）與真空泵連接


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·電阻真空計型號：DGR-52

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渦旋式真空泵（選配）

一種干式真空泵，該結構的真空泵可實現(xiàn)真正的無油，同時基本無油渦旋壓縮技術結構，在較寬的壓力范圍內有穩(wěn)定的抽速，

在無油環(huán)境下工作，對被抽容器無污染，可抽除可凝性氣體

· 電壓：AC 100-240V

· 功率：400W

· 抽氣速率：3L/s

· 極限真空度：0.8 Pa（不帶負載）

· 轉速：1800rpm

· 泄漏率：＜1*10-7Pa*m3/s

· 外形尺寸：430*255*290mm

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儀器重量

 約150kg
外形尺寸

· 設備尺寸：1200*800*1250mm（長*寬*高）

· 霧化裝置尺寸：150*150*300mm（長*寬*高）

· 注射泵尺寸：265*200*150mm（長*寬*高）

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質保期

·一年質保，終身維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件）
質量認證

·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

圖片3.png圖片4.png圖片5.png圖片8.jpg圖片7.png
使用注意事項

· 石英腔體內氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）；

· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向石英管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，

   建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；

· 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，

   若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和

   防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。
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