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4英寸氣體分散噴頭（用于DIY ALD/CVD系統(tǒng)）
- 型號(hào)：
- SH-4
- 產(chǎn)品概述：
- SH-4是一款氣體分散噴頭，了將前驅(qū)氣體非常均勻地傳輸?shù)紸LD或CVD腔體。此款產(chǎn)品非常適用到大尺寸基片上（最大4英寸），采用CVD法成膜。
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如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔，說(shuō)明書(shū)（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請(qǐng)點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對(duì)大陸地區(qū)客戶(hù)，購(gòu)買(mǎi)前請(qǐng)與工作人員溝通，以免給您帶來(lái)不便。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 產(chǎn)品名稱(chēng)
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4英寸氣體分散噴頭-SH-4 （2020.12.05——科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示
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1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 3.配件妥善保管提示 |
| 技術(shù)參數(shù)
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·材料：頂部法蘭為304不銹鋼，底部噴頭為鋁合金 ·密封圈：硅膠密封圈 ·氣管接口：外徑14mm,內(nèi)徑6.35mm ·噴頭孔徑：Φ0.5mm ·噴頭流道：特殊的流道設(shè)計(jì)，確保氣體/蒸汽均勻的分散和傳輸
 
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| 外形參數(shù)
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| 認(rèn)證
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若客戶(hù)出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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| 質(zhì)保
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·一年保修，終身技術(shù)支持。
·特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ·點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
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