產(chǎn)品名稱 | ·開啟式納米線生長CVD爐--OTF-1200X-4-NW |
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產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 |
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視頻 | 儀表操作視頻 |
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產(chǎn)品特點(diǎn) | OTF-1200X-100單區(qū)管式爐: ·采用ABB電器元件 ·右側(cè)可滑動(dòng)支架的法蘭,方便操作 ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ·右側(cè)水冷法蘭可滑動(dòng),便于樣品裝載 ·加熱器與爐子之間的左側(cè)水冷法蘭能夠更好的密封 ·爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能很大程度減少能量損失提高加熱效率和增加爐膛使用壽命 ·左側(cè)的預(yù)熱系統(tǒng)可對(duì)輸入的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱,然后通入CVD爐中。 ·預(yù)熱裝置的最高工作溫度:600℃ ·左側(cè)法蘭作為氣體通道的同時(shí)起到密封作用(詳細(xì)結(jié)構(gòu)請(qǐng)看下圖) 右側(cè)活動(dòng)法蘭 結(jié)構(gòu)示意圖 特別推薦:視頻會(huì)議產(chǎn)品展示(請(qǐng)點(diǎn)擊此鏈接) |
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基本參數(shù) | 加熱爐: ·最高溫度: 1100℃(≤30min) 工作溫度: 1000℃ ·推薦升溫速率:≤10℃/min ·加熱區(qū):440 mm ·熱偶:K型熱偶 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金 ·電壓:220V, 額定功率:4KW 預(yù)熱裝置: ·連續(xù)工作溫度: 0~300°C ·最快升溫和降溫速度: 10°C/min ·加熱區(qū):150 mm 更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系我們 |
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真空和密封法蘭 | CVD爐: ①右法蘭: ·水冷可避免密封圈融化 ·KF25真空快接更加方便(可與真空泵、波紋管、真空閥等連接) ·滑動(dòng)使操作更簡單:樣品可快速的放入和取出 ·一個(gè)石英樣品支架 ( 3英寸 ):與石英擋板滑動(dòng)法蘭連成一體 ②左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間):裝有4個(gè) 1/4英寸卡套連結(jié)的通氣管: ·法蘭上有兩個(gè)獨(dú)立 1/4英寸接口,可單獨(dú)將任何氣體通入CVD爐 ·其中一路通過1/4英寸接口將預(yù)熱氣體通入CVD爐 ·另外一路通過1/4英寸口將不加熱的氣體通入CVD爐(在 CVD 爐內(nèi), 通過“T”型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。) |
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爐體結(jié)構(gòu)&溫控 | ·CVD爐體加熱和前驅(qū)體(單獨(dú)控溫): ·具有PID/自整定功能和50段可編程的數(shù)字控制器 ·熱電偶:K型熱電偶,通過右側(cè)法蘭進(jìn)料,控制爐溫。 ·控溫精度:+/-1°C |
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真空度 | ·機(jī)械泵:10^-2 torr ·分子泵:10^-5 torr |
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產(chǎn)品尺寸 | ·1200(L)X450(W)X600(H)mm ·重量約:110kg |
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認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號(hào): M.2021.206.C67997 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 |
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質(zhì)保期 | ·一年保修,終身技術(shù)支持。 ·特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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產(chǎn)品在線展示 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | ·購買前請(qǐng)聯(lián)系我們,確定進(jìn)出氣口以及閥門種類 ·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) ·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊并同時(shí)保護(hù)爐內(nèi)溫場。 ·石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃ ·設(shè)備使用過程兩邊添加管堵,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性 ·為了獲得更高的潔凈度和真空度,請(qǐng)選用石英管 |
警示 | ·不要將裝有溶液的容器放在儀器上,防止造成儀器短路 ·如需高溫取樣,請(qǐng)務(wù)必穿戴好安全裝置 ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ·對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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