| 設(shè)備名稱 | 雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 （2019.12.18—科晶實驗室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 |
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| 產(chǎn)品特點 | ? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接； ? 兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果。 |
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| 加熱爐參數(shù) | ? 連續(xù)工作溫度：1100℃ ? 兩個爐體都可設(shè)置50段升降溫程序 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ? 電源：AC220，50Hz 最大功率：3KW
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
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| 手套箱參數(shù) | ? 帶有除水系統(tǒng)：保持水含量< 2 ppm ? 真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管連接
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
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| 產(chǎn)品尺寸 | ? 爐體尺寸：1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H) ? 手套箱尺寸：780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
科晶應(yīng)用技術(shù)實驗室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）條件下沉積Sb2Se3薄膜，實驗結(jié)果如下：
組別 | SEM結(jié)果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未經(jīng)任何處理的樣品 |
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| 40.01 | 59.99 |
等離子體處理 |
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| 41.04 | 58.96 |
等離子體處理 min |
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| 41.64 | 58.36 |
等離子體處理5 min |
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| 41.86 | 58.14 |
小結(jié):
（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；
（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
組別 | SEM結(jié)果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 40.01 | 59.99 |
75W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 | |
75W、且補充2粉末（10%質(zhì)量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小結(jié):
（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；
（4）當(dāng)SnSe2質(zhì)量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于的薄膜，該方法適用于摻雜。
XRD結(jié)果
警示 | ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02 MPa； ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃； ? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； ? 此手套箱并非為高真空設(shè)計，真空度過高會使手套箱變形； ? 橡膠手套不可以在真空狀態(tài)下操作，真空處理是為了去除手套箱內(nèi)的水和氧； ? 最大正壓：1.1 atm（注意：如果手套箱內(nèi)的氣壓高于1.1atm時，不可以操作橡膠手套）。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | ? 通入爐內(nèi)氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； ? 加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 |
防腐型真空表 （可選） | ? 輸入電源24V，1A DC（配有電壓轉(zhuǎn)換器）； ? 測量范圍3.8′10-5-1125 Torr； ? 數(shù)據(jù)顯示：數(shù)顯（屏幕尺寸為20′14mm），其單位為torr ? 連接：1/8"NPT 接頭 ? 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H)
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爐管 | ? 高純石英管，尺寸50mm O.D ′44mm I.D ′1800 mm L
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溫儀表 （可選） | ? 單回路、雙回路和三回路控制模式； ? 每個回路可實現(xiàn)雙輸入，雙保護； ? 各回路可PID、串級、比率等回路控制； ? 數(shù)碼顯示，配備7個按鍵，可用于進行各控制回路的切換和參數(shù)修改； ? 最多可存儲50個程序，每個程序最多可有3個不同的設(shè)定值（即3條不同的曲線），最多可設(shè)置500段升降溫程序； ? 通訊方式多樣，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口，可連接PC進行遠程控制。
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真空系統(tǒng) （可選） | ? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進口高真空設(shè)備，以滿足在不同真空條件下的實驗需求。
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供氣系統(tǒng) （可選） | ? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計可供選擇，以實現(xiàn)氣體流量的精確控制。
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