| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 包含卷對(duì)卷線材收放卷運(yùn)動(dòng)模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊、真空系統(tǒng)以及四路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分
? 整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作
? 運(yùn)動(dòng)模塊采用全進(jìn)口控制組件，保證線材在管式爐中以穩(wěn)定速度和張力進(jìn)行走樣，速度范圍：1-400mm/min
? 線/帶材速度及張力可調(diào)，張力范圍：0.0611~0.611N
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| 1200℃開啟式雙溫區(qū)管式爐 | ? 工作電源：AC220V，50/60Hz
? 功率：3KW
? 加熱元件：電阻絲
? 最高溫度：1200℃ (使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)
? 長(zhǎng)期使用溫度：1100℃
? 推薦升溫速率:≤ 20℃ /min
? 爐管：高純石英管：φ60*1400mm
? 總加熱區(qū)長(zhǎng)度：400mm ? 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm
? PID控溫，具有超溫及斷偶保護(hù)
? 控溫精度：±1℃
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| 線材收放卷運(yùn)動(dòng)模塊 | ? 放樣筒徑：OD140mm*ID65mm（可放樣最大厚度：35mm）
? 筒寬：120mm
? 可調(diào)速范圍：1-400mm/min
? 可放樣直徑：10μm~2mm
? 張力調(diào)節(jié)范圍：0.0611~0.611N
? 放樣筒采用氣動(dòng)夾爪連接方式，方便拆卸安裝
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| 500W等離子源 | ? 配備500W功率可調(diào)等離子源，用于等離子增強(qiáng)反應(yīng)活化，促進(jìn)反應(yīng)進(jìn)行 ? 輸出功率：50-500W最大可調(diào)±1%
? RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
? 噪聲：≤55DB
? 冷卻：風(fēng)冷
? 輸入功率：1KW AC 220V |
| 四路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)（標(biāo)配） | ? 電壓：AC220V/50Hz
? 功率：23W
? PLC觸摸屏控制
? 混氣罐尺寸：φ80*120mm
? 工作溫度：5~45 oC
? 最大壓力: 3x106 Pa
? 精度: ±1.5% FS
? 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
? 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
? 流量范圍: 一路: 1~99 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1-499SCCM 氣體種類標(biāo)定根據(jù)客戶要求可以進(jìn)行其它選擇 |
| 真空測(cè)量單元 | ? 型號(hào)：PGC-554-LD
? 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr
? 精度： 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5 |
| 低真空機(jī)組（標(biāo)配） | ? 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質(zhì)）、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成
? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
? 極限真空度10-1Pa
? 真空計(jì)測(cè)量范圍10-1Pa-105 Pa |
| 產(chǎn)品尺寸 | ? 2800mmL*1500mmW*1200mmH |
| 質(zhì)保期 | ? 一年保證期，終生維護(hù)
? 注：相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | ??若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
· 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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