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三靶磁控濺射儀
關(guān)鍵字：
三個直流、射頻通用靶頭
型號：
VTC-600-3HD
產(chǎn)品概述：
VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是最新研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。
免責(zé)聲明： 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會造成數(shù)據(jù)與實物的偏差，請勿復(fù)制或者截圖。如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù)，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，請勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同，科晶公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔，說明書（在線閱覽），裝箱單，與售后安裝條件等文件，請點擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對大陸地區(qū)客戶，購買前請與工作人員溝通，以免給您帶來不便。
技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
主要特點

可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛

 

體積小，操作簡便

 

真空腔室、真空泵組整機模塊化設(shè)計 ，控制電源為分體式設(shè)計，可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整購買需求。

 

可根據(jù)用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍，購買前請聯(lián)系我公司銷售。
磁控濺射頭

儀器中安裝有3個磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層（圖一）

 

其中一個濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材（圖二）

 

另一個濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材

 

靶材尺寸要求：直徑為50mm,厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

 

可以單獨訂購RF連接線作為備用（圖二）

 

設(shè)備包含一臺水冷機，用于靶頭冷卻（圖三 ）

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    圖一

      圖二

        圖三
載樣臺

載樣臺尺寸：φ140mm（最大可放 置4"的基底）

 

載樣臺可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）

 

載樣臺最高可加熱溫度為500℃


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RF/DC電源

l此設(shè)備安裝有三個濺射電源，根據(jù)客戶需求可選（以下兩款射頻電源可任意組合使用）

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真空腔體

真空腔體：φ300 mm×300 mm H，采用不銹鋼制作

 

觀察窗口：Φ100 mm

 

腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易

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氣體流量控制器

儀器內(nèi)部安裝有2個質(zhì)量流量計，量程為：0-100sccm

 

氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進行操作

 

此系統(tǒng)運行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）

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真空系統(tǒng)

配有一套GZK-103D分子泵系統(tǒng)（德國制作）

 

標(biāo)準(zhǔn)5E-5mbar 極限7.4E-6mbar（僅供參考，詳情請點擊 ）

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薄膜測厚

一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝 在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  

 

LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

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產(chǎn)品外型尺寸 ?

L1300mm× W 660mm× H 1200mm

 

凈重 ：160 kg
質(zhì)保

一年保修，終身技術(shù)支持。


特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

 

點擊查看售后服務(wù)承諾書。
使用提示

此設(shè)備為DIY設(shè)備，參數(shù)變化較大購買前請務(wù)必電話仔細(xì)溝通

 

為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）

 

在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈

 

要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請在濺射前清潔基材表面

 

超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥 （4）真空烘箱除去水分。

 

等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。

 

制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。

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   超聲波清洗機

   等離子清洗機

    蒸鍍儀

    手套箱
警示

注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體

 

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用

 

濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

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